Вакуумный агрегат Ликлаб JZJLG150-2R

JZJLG150-2R — вакуумный агрегат с насосом Рутс и сухой винтовой форвакуумной ступенью. Таблица характеристик, состав по исходному документу и требования к подключению.

Содержание карточки

Вакуумные насосы

Агрегат в защитном корпусе — иллюстрация из 150-3T single crystal unit.docx. Изображение семейства не определяет состав ступеней конкретной версии.

Технические характеристики

Параметр	Значение
Модель	JZJLG150-2R
Схема агрегата	Насос Рутс и сухая винтовая форвакуумная ступень последовательно
Основной насос	R500
Форвакуумный насос	LG70
Быстрота откачки	150 л/с
Предельное остаточное давление	0,5 Па
Вход: размер по таблице	100 мм; стандарт фланца не указан
Выход: размер по таблице	40 мм; стандарт фланца не указан
Расход охлаждающей воды	4 л/мин
Масса	600 кг
Мощность основной ступени	3 кВт
Мощность форвакуумной ступени	7,5 кВт

Устройство, исполнение и условия применения

Числа и состав ступеней взяты из самостоятельной строки JZJLG150-2R исходного документа 150-3T single crystal unit.docx. Дата редакции и частотный базис этой таблицы не указаны. Для фильтра быстрота 150 л/с пересчитана в 540 м³/ч; параметры другой строки не подставлены.

Документ 150-3T содержит две разные строки: JZJLG150-2R с R500 + LG70 и JZJLG150-3T с ZJ150G + LG50G. Эта карточка относится к 2R; мощность 3 + 7,5 кВт и давление 0,5 Па не заменены параметрами 3T.

Насос Рутс повышает быстроту откачки в рабочей области, а винтовая ступень обеспечивает форвакуум. Ступени работают последовательно; их мощности и быстроты нельзя складывать для получения рабочей характеристики агрегата.

Такие агрегаты применяют в технологических вакуумных системах, включая выращивание монокристаллического кремния. Конкретный процесс согласуют по газовой нагрузке, пыли, парам и температуре. Упоминание процесса в описании серии не подтверждает пригодность любой комплектации.

Сухое исполнение относится к проточной части. Подготовка воды, продувка, последовательность пуска и остановки и аварийные блокировки должны соответствовать руководству выбранного агрегата. Предельное давление не задаёт время откачки камеры без её объёма и газовыделения.

Обозначение Ликлаб сохранено как в каталоге поставщика. Ссылки на LIXIN/SAWA указывают источник заводской документации и не являются заявлением о российском изготовлении насоса. Для связи с лабораторией используются email и телефон.

Иллюстрации и исходные таблицы

Архивная таблица 150-3T single crystal unit.docx. Используется только строка JZJLG150-2R.

Документация и источники

Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.

Связанное оборудование и материалы

Технический каталог оборудования

Контакты лаборатории

Ранее опубликованные материалы

Каталог Ликлаб 2026, стр. 336

Учебная анимация · 48 секунд

Быстрота откачки и проводимость линии

Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.

Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.

Открыть или скачать MP4

Текстовое пояснение к ролику

Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.

Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.

Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.

Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.

Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.

Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.

Связанное оборудование

Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.

Написать по email