lab@techeiscatel.ru

+7 (812) 715-00-17

Вакуумный агрегат Ликлаб JZJLG150-3T

JZJLG150-3T — вакуумный агрегат с насосом Рутс и сухой винтовой форвакуумной ступенью. Таблица характеристик, состав по исходному документу и требования к подключению.

Содержание карточки

Вакуумные насосы

Агрегат в защитном корпусе — иллюстрация из 150-3T single crystal unit.docx. Изображение семейства не определяет состав ступеней конкретной версии.
Агрегат в защитном корпусе — иллюстрация из 150-3T single crystal unit.docx. Изображение семейства не определяет состав ступеней конкретной версии.

Технические характеристики

ПараметрЗначение
МодельJZJLG150-3T
Схема агрегатаНасос Рутс и сухая винтовая форвакуумная ступень последовательно
Быстрота откачки — м³/ч50 Гц: 630 м³/ч; 60 Гц: 756 м³/ч
Быстрота откачки — л/с50 Гц: 175 л/с; 60 Гц: 210 л/с
Предельное остаточное давление50 Гц: ≤0,2 Па; 60 Гц: ≤0,1 Па
Электропитание380 В; 50/60 Гц
Мощность приводов3+4,5 кВт
Обороты насоса Рутс50 Гц: 2900 об/мин; 60 Гц: 3480 об/мин
Обороты винтовой ступени2900 об/мин
Давление азота0,05–0,1 МПа
Расход азота6–20 л/мин
Давление охлаждающей воды0,2–0,4 МПа
Перепад давления воды0,1 МПа
Температура охлаждающей воды10–30 °C
Расход охлаждающей воды3–5 л/мин
ВпускDN100; стандарт фланца не указан
ВыпускDN40; стандарт фланца не указан
Масса600 кг
Уровень шума72 дБ(А)
Габариты Д×Ш×В1000×660×1050 мм
Ступени по архивному документуZJ150G + LG50G

Устройство, исполнение и условия применения

Основная таблица этой карточки соответствует текущей редакции SAWA. Состав ступеней указан отдельно по архивному документу 150-3T single crystal unit.docx и требует сверки с текущей комплектацией. Архивный документ и его изображение ниже сохранены как самостоятельная редакция, а не как подтверждение всех современных размеров.

В архивной строке JZJLG150-3T указаны 150 л/с, 0,1 Па и 4 л/мин охлаждающей воды. Текущая таблица содержит 175/210 л/с при 50/60 Гц, ≤0,2/≤0,1 Па и 3–5 л/мин. Эти редакции не объединены в один набор параметров.

Быстрота в м³/ч и л/с приведена буквально по разным строкам производителя; округление не заменено самостоятельным пересчётом. В числовом фильтре используется строка м³/ч при 50 Гц. DN задаёт условное обозначение размера, но не тип фланца.

Насос Рутс повышает быстроту откачки в рабочей области, а винтовая ступень обеспечивает форвакуум. Ступени работают последовательно; их мощности и быстроты нельзя складывать для получения рабочей характеристики агрегата.

Такие агрегаты применяют в технологических вакуумных системах, включая выращивание монокристаллического кремния. Конкретный процесс согласуют по газовой нагрузке, пыли, парам и температуре. Упоминание процесса в описании серии не подтверждает пригодность любой комплектации.

Сухое исполнение относится к проточной части. Подготовка воды, продувка, последовательность пуска и остановки и аварийные блокировки должны соответствовать руководству выбранного агрегата. Предельное давление не задаёт время откачки камеры без её объёма и газовыделения.

Обозначение Ликлаб сохранено как в каталоге поставщика. Ссылки на LIXIN/SAWA указывают источник заводской документации и не являются заявлением о российском изготовлении насоса. Для связи с лабораторией используются email и телефон.

Иллюстрации и исходные таблицы

Архивная таблица 150-3T single crystal unit.docx. Характеристики этой редакции могут отличаться от текущей таблицы выше.
Архивная таблица 150-3T single crystal unit.docx. Характеристики этой редакции могут отличаться от текущей таблицы выше.

Документация и источники

Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.

Связанное оборудование и материалы

Технический каталог оборудования

Контакты лаборатории

Ранее опубликованные материалы

Учебная анимация · 48 секунд

Быстрота откачки и проводимость линии

Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.

Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.

Открыть или скачать MP4

Текстовое пояснение к ролику

Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.

Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.

Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.

Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.

Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.

Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.

Написать по email

Выбранное оборудование