Вакуумный агрегат Ликлаб JZJLG150-3T

JZJLG150-3T — вакуумный агрегат с насосом Рутс и сухой винтовой форвакуумной ступенью. Таблица характеристик, состав по исходному документу и требования к подключению.

Вакуумные насосы

Агрегат в защитном корпусе — иллюстрация из 150-3T single crystal unit.docx. Изображение семейства не определяет состав ступеней конкретной версии.

Технические характеристики

Параметр	Значение
Модель	JZJLG150-3T
Схема агрегата	Насос Рутс и сухая винтовая форвакуумная ступень последовательно
Быстрота откачки — м³/ч	50 Гц: 630 м³/ч; 60 Гц: 756 м³/ч
Быстрота откачки — л/с	50 Гц: 175 л/с; 60 Гц: 210 л/с
Предельное остаточное давление	50 Гц: ≤0,2 Па; 60 Гц: ≤0,1 Па
Электропитание	380 В; 50/60 Гц
Мощность приводов	3+4,5 кВт
Обороты насоса Рутс	50 Гц: 2900 об/мин; 60 Гц: 3480 об/мин
Обороты винтовой ступени	2900 об/мин
Давление азота	0,05–0,1 МПа
Расход азота	6–20 л/мин
Давление охлаждающей воды	0,2–0,4 МПа
Перепад давления воды	0,1 МПа
Температура охлаждающей воды	10–30 °C
Расход охлаждающей воды	3–5 л/мин
Впуск	DN100; стандарт фланца не указан
Выпуск	DN40; стандарт фланца не указан
Масса	600 кг
Уровень шума	72 дБ(А)
Габариты Д×Ш×В	1000×660×1050 мм
Ступени по архивному документу	ZJ150G + LG50G

Устройство, исполнение и условия применения

Основная таблица этой карточки соответствует текущей редакции SAWA. Состав ступеней указан отдельно по архивному документу 150-3T single crystal unit.docx и требует сверки с текущей комплектацией. Архивный документ и его изображение ниже сохранены как самостоятельная редакция, а не как подтверждение всех современных размеров.

В архивной строке JZJLG150-3T указаны 150 л/с, 0,1 Па и 4 л/мин охлаждающей воды. Текущая таблица содержит 175/210 л/с при 50/60 Гц, ≤0,2/≤0,1 Па и 3–5 л/мин. Эти редакции не объединены в один набор параметров.

Быстрота в м³/ч и л/с приведена буквально по разным строкам производителя; округление не заменено самостоятельным пересчётом. В числовом фильтре используется строка м³/ч при 50 Гц. DN задаёт условное обозначение размера, но не тип фланца.

Насос Рутс повышает быстроту откачки в рабочей области, а винтовая ступень обеспечивает форвакуум. Ступени работают последовательно; их мощности и быстроты нельзя складывать для получения рабочей характеристики агрегата.

Такие агрегаты применяют в технологических вакуумных системах, включая выращивание монокристаллического кремния. Конкретный процесс согласуют по газовой нагрузке, пыли, парам и температуре. Упоминание процесса в описании серии не подтверждает пригодность любой комплектации.

Сухое исполнение относится к проточной части. Подготовка воды, продувка, последовательность пуска и остановки и аварийные блокировки должны соответствовать руководству выбранного агрегата. Предельное давление не задаёт время откачки камеры без её объёма и газовыделения.

Обозначение Ликлаб сохранено как в каталоге поставщика. Ссылки на LIXIN/SAWA указывают источник заводской документации и не являются заявлением о российском изготовлении насоса. Для связи с лабораторией используются email и телефон.