Вакуумный агрегат Ликлаб JZJLGB1200-8T

JZJLGB1200-8T — вакуумный агрегат с насосом Рутс и сухой винтовой форвакуумной ступенью. Таблица характеристик, состав по исходному документу и требования к подключению.

Содержание карточки

Вакуумные насосы

Агрегат в защитном корпусе — иллюстрация из 1200-8T single crystal unit.docx. Изображение семейства не определяет состав ступеней конкретной версии.
Агрегат в защитном корпусе — иллюстрация из 1200-8T single crystal unit.docx. Изображение семейства не определяет состав ступеней конкретной версии.

Технические характеристики

ПараметрЗначение
МодельJZJLGB1200-8T
Схема агрегатаНасос Рутс и сухая винтовая форвакуумная ступень последовательно
Основной насосZJ1200S
Форвакуумный насосLGB110
Быстрота откачки1200 л/с
Предельное остаточное давление0,2 Па
Вход: размер по таблице250 мм; стандарт фланца не указан
Выход: размер по таблице40 мм; стандарт фланца не указан
Расход охлаждающей воды9 л/мин
Масса1250 кг
Мощность основной ступени11 кВт
Мощность форвакуумной ступени7,5 кВт

Устройство, исполнение и условия применения

Числа и состав ступеней взяты из самостоятельной строки JZJLGB1200-8T исходного документа 1200-8T single crystal unit.docx. Дата редакции и частотный базис этой таблицы не указаны. Для фильтра быстрота 1200 л/с пересчитана в 4320 м³/ч; параметры другой строки не подставлены.

Индекс B в JZJLGB1200-8T сохранён. На текущем сайте SAWA опубликован JZJLG1200-8T без B с другими данными быстроты. Совпадение чисел 1200-8T не доказывает идентичность исполнений; здесь применяется архивная строка с B и форвакуумным насосом LGB110.

Насос Рутс повышает быстроту откачки в рабочей области, а винтовая ступень обеспечивает форвакуум. Ступени работают последовательно; их мощности и быстроты нельзя складывать для получения рабочей характеристики агрегата.

Такие агрегаты применяют в технологических вакуумных системах, включая выращивание монокристаллического кремния. Конкретный процесс согласуют по газовой нагрузке, пыли, парам и температуре. Упоминание процесса в описании серии не подтверждает пригодность любой комплектации.

Сухое исполнение относится к проточной части. Подготовка воды, продувка, последовательность пуска и остановки и аварийные блокировки должны соответствовать руководству выбранного агрегата. Предельное давление не задаёт время откачки камеры без её объёма и газовыделения.

Обозначение Ликлаб сохранено как в каталоге поставщика. Ссылки на LIXIN/SAWA указывают источник заводской документации и не являются заявлением о российском изготовлении насоса. Для связи с лабораторией используются email и телефон.

Иллюстрации и исходные таблицы

Архивная таблица 1200-8T single crystal unit.docx. Используется только строка JZJLGB1200-8T.
Архивная таблица 1200-8T single crystal unit.docx. Используется только строка JZJLGB1200-8T.

Документация и источники

Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.

Связанное оборудование и материалы

Технический каталог оборудования

Контакты лаборатории

Ранее опубликованные материалы

Учебная анимация · 48 секунд

Быстрота откачки и проводимость линии

Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.

Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.

Открыть или скачать MP4

Текстовое пояснение к ролику

Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.

Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.

Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.

Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.

Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.

Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.

Написать по email

Выбранное оборудование