Вакуумный агрегат Ликлаб JZJLG300-5T

JZJLG300-5T — вакуумный агрегат с насосом Рутс и сухой винтовой форвакуумной ступенью. Таблица характеристик, состав по исходному документу и требования к подключению.

Вакуумные насосы

Агрегат в защитном корпусе — иллюстрация из 300-5T single crystal unit.docx. Изображение семейства не определяет состав ступеней конкретной версии.

Технические характеристики

Параметр	Значение
Модель	JZJLG300-5T
Схема агрегата	Насос Рутс и сухая винтовая форвакуумная ступень последовательно
Быстрота откачки — м³/ч	50 Гц: 1430 м³/ч; 60 Гц: 1720 м³/ч
Быстрота откачки — л/с	50 Гц: 398 л/с; 60 Гц: 478 л/с
Предельное остаточное давление	50 Гц: ≤0,2 Па; 60 Гц: ≤0,1 Па
Электропитание	380 В; 50/60 Гц
Мощность приводов	4,5+4,5 кВт
Обороты насоса Рутс	50 Гц: 2900 об/мин; 60 Гц: 3480 об/мин
Обороты винтовой ступени	2900 об/мин
Давление азота	0,05–0,1 МПа
Расход азота	6–20 л/мин
Давление охлаждающей воды	0,2–0,4 МПа
Перепад давления воды	0,1 МПа
Температура охлаждающей воды	10–30 °C
Расход охлаждающей воды	3–5 л/мин
Впуск	DN160; стандарт фланца не указан
Выпуск	DN40; стандарт фланца не указан
Масса	750 кг
Уровень шума	75 дБ(А)
Габариты Д×Ш×В	1100×660×1200 мм
Ступени по архивному документу	ZJ400G + LG50G

Устройство, исполнение и условия применения

Основная таблица этой карточки соответствует текущей редакции SAWA. Состав ступеней указан отдельно по архивному документу 300-5T single crystal unit.docx и требует сверки с текущей комплектацией. Архивный документ и его изображение ниже сохранены как самостоятельная редакция, а не как подтверждение всех современных размеров.

Архивная строка JZJLG300-5T содержит 400 л/с, 0,1 Па, вход 145 мм, воду 6 л/мин и массу 650 кг. Текущая таблица содержит 398/478 л/с, ≤0,2/≤0,1 Па, DN160, 3–5 л/мин и 750 кг. Старые размеры и массу нельзя применять к текущей конфигурации без проверки.

Быстрота в м³/ч и л/с приведена буквально по разным строкам производителя; округление не заменено самостоятельным пересчётом. В числовом фильтре используется строка м³/ч при 50 Гц. DN задаёт условное обозначение размера, но не тип фланца.

Насос Рутс повышает быстроту откачки в рабочей области, а винтовая ступень обеспечивает форвакуум. Ступени работают последовательно; их мощности и быстроты нельзя складывать для получения рабочей характеристики агрегата.

Такие агрегаты применяют в технологических вакуумных системах, включая выращивание монокристаллического кремния. Конкретный процесс согласуют по газовой нагрузке, пыли, парам и температуре. Упоминание процесса в описании серии не подтверждает пригодность любой комплектации.

Сухое исполнение относится к проточной части. Подготовка воды, продувка, последовательность пуска и остановки и аварийные блокировки должны соответствовать руководству выбранного агрегата. Предельное давление не задаёт время откачки камеры без её объёма и газовыделения.

Обозначение Ликлаб сохранено как в каталоге поставщика. Ссылки на LIXIN/SAWA указывают источник заводской документации и не являются заявлением о российском изготовлении насоса. Для связи с лабораторией используются email и телефон.