Турбомолекулярные насосы MTP. Магнитный подвес. Сравнение трёх исполнений CTMS по предоставленному каталогу CBVAC; значения относятся к указанным входным фланцам.
Содержание карточки
Вакуумные насосы
Магнитный подвес. Сравнение трёх исполнений CTMS по предоставленному каталогу CBVAC; значения относятся к указанным входным фланцам.
| Параметр | MTP-2201 CTMS | MTP-3201 CTMS | MTP-4301 CTMS |
|---|---|---|---|
| Быстрота N₂, л/с | 2200 | 3200 | 4000 |
| Быстрота H₂, л/с | 1700 | 2300 | 2700 |
| Сжатие N₂ | > 10⁸ | > 10⁸ | > 10⁸ |
| Сжатие H₂ | > 10⁴ | > 2×10³ | > 10³ |
| Предельное давление¹, Па | 1×10⁻⁷ | 1×10⁻⁷ | 1×10⁻⁷ |
| Форвакуум с TMS, Па | 266 | 266 | 266 |
| Входной фланец | ISO250F | ISO320F | ISO320F |
| Выход / продувка | KF40 / KF10 | KF40 / KF10 | KF40 / KF10 |
| Вращение, об/мин | 27 000 | 27 720 | 24 240 |
| Разгон / остановка, мин | ≤ 8 / ≤ 11 | ≤ 10 / ≤ 16 | ≤ 11 / ≤ 19 |
| Расход воды, л/мин | 3 | 3 | 3 |
| Температура воды, °C | 15–35 | 15–35 | 15–35 |
| Давление воды, МПа | 0,3–0,4 | 0,3–0,4 | 0,3–0,4 |
| Продувка N₂, sccm | 50 ± 10 | 50 ± 10 | 50 ± 10 |
| Форнасос, л/мин | > 1300 | > 1300 | > 1300 |
| Масса, кг | 60 | 84 | 111 |
| Макс. мощность, Вт | 1500 | 1800 | 2200 |
| Питание, В AC, 1 фаза | 176–264 | 176–264 | 176–264 |
| Шум, дБ, номинальный ход | < 55 | < 55 | < 55 |
| Степень защиты | IP54 | IP54 | IP54 |
| Окружающая среда, °C | 0–40 | 0–40 | 0–40 |
| Прогрев фланца, °C | < 120 | < 120 | < 120 |
¹ После прогрева. TMS — температурное управление. REMOTE, RS-232/485 и отдельный RS-485; Profibus и EtherCAT — по исполнению. Суффиксы и условия монтажа раскрыты далее.
MTP на магнитном подвесе в технологическом процессе
Назначение семейства
MTP применяют в вакуумных процессах, чувствительных к чистоте, механическому контакту и вибрации. Встроенное управление поддерживает активный магнитный подвес. Исполнения различаются быстротой, входным фланцем, массой, мощностью, тепловыми функциями и промышленной связью; их сравнение приведено в единой таблице семейства.
Форвакуум и охлаждение
Для трёх приведённых в таблице конфигураций каталог задаёт водяное охлаждение 3 л/мин и рекомендуемую быстроту форнасоса более 1300 л/мин. Это требование относится к выбранной насосной системе, а не к любому форнасосу с похожим названием. Давление до 266 Па непрерывно указано при включённой TMS; тепловую нагрузку и фактический газ проверяют отдельно.
Исполнение по заказу
Буква C обозначает обработку для тяжёлых технологических условий, T — функцию TMS, S — продувку через KF10. M, P и E относятся к Modbus, Profibus и EtherCAT. Фланец и полный код фиксируют вместе: характеристики ISO320F нельзя автоматически переносить на ISO250F, ISO400F, CF или VG.
Приёмка и обслуживание
Проверяют проток воды, разрешения контроллера, штатный разгон и управляемый останов. Магнитный подвес содержит аварийные опоры; отсутствие рабочего контакта не отменяет диагностику после аварийного касания ротора. Для сервисного запроса сохраняют код ошибки, журнал событий, режим процесса и сведения о форвакуумной ступени.
MTP-2201: магнитный подвес
Значения 2200 л/с по N₂ и 1700 л/с по H₂ относятся к указанному исполнению. Полное сравнение трёх CTMS — в таблице семейства.
Оригинальная публикация Ликлаб / Вернуться к разделу
Карточки моделей и артикулов (6)
Исполнения и позиции указателя (68)
Обозначения приведены по указателю каталога. Характеристики конкретного исполнения проверяют по его документации.
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201CTES(ISO250F), код A24A3-00023 — указатель, стр. 254
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201CTMS(ISO250F), код A24A3-00021 — указатель, стр. 254
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201CTPS(ISO250F), код A24A3-00022 — указатель, стр. 254
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201E(CF250), код A25A3-00012 — указатель, стр. 254
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201E(ISO250F), код A24A3-00008 — указатель, стр. 254
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201E(ISO250F)-M, код A24A3-00045 — указатель, стр. 254
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201E(VG250), код A25A3-00004 — указатель, стр. 254
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201ES(CF250), код A26A3-00004 — указатель, стр. 254
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201ES(ISO250F), код A24A3-00039 — указатель, стр. 254
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201ES(ISO250F)-M, код A24A3-00043 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201M(CF250), код A25A3-00010 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201M(ISO250F), код A24A3-00006 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201M(ISO250F)-M, код A24A3-00041 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201MS(CF250), код A26A3-00002 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201MS(ISO250F), код A24A3-00037 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201MS(ISO250F)-M, код A24A3-00044 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201P(CF250), код A25A3-00011 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201P(ISO250F), код A24A3-00007 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201P(ISO250F)-M, код A24A3-00042 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201PS(CF250), код A26A3-00003 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201PS(ISO250F), код A24A3-00038 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201PS(ISO250F)-M, код A24A3-00040 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201PS(VG250)-M, код A25A3-00005 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201CTES(ISO250F), код A24A3-00029 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201CTES(ISO320F), код A24A3-00026 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201CTMS(ISO250F), код A24A3-00027 — указатель, стр. 255
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201CTMS(VG350), код A25A3-00008 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201CTPS(ISO250F), код A24A3-00028 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201CTPS(ISO320F), код A24A3-00025 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201E(ISO250F), код A24A3-00014 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201E(ISO320F), код A24A3-00011 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201ES(ISO250F), код A25A3-00036 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201ES(ISO320F), код A24A3-00048 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201M(ISO250F), код A24A3-00012 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201M(ISO320F), код A24A3-00009 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201MS(ISO250F), код A25A3-00034 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201MS(ISO320F), код A24A3-00047 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201P(ISO250F), код A24A3-00013 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201P(ISO320F), код A24A3-00010 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201PS(ISO250F), код A25A3-00035 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-3201PS(ISO320F), код A24A3-00049 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301CTES(ISO320F), код A24A3-00035 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301CTES(ISO400F), код A24A3-00032 — указатель, стр. 256
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301CTES(VG350), код A25A3-00032 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301CTMS(ISO320F), код A24A3-00033 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301CTMS(ISO400F), код A24A3-00030 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301CTMS(VG350), код A25A3-00030 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301CTPS(ISO320F), код A24A3-00034 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301CTPS(ISO400F), код A24A3-00031 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301CTPS(VG350), код A25A3-00031 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301E(ISO320F), код A24A3-00020 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301E(ISO400F), код A24A3-00017 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301E(VG350), код A25A3-00025 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301ES(ISO320F), код A25A3-00013 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301ES(ISO400F), код A25A3-00003 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301ES(VG350), код A25A3-00027 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301M(ISO320F), код A24A3-00018 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301M(ISO400F), код A24A3-00015 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301M(VG350), код A25A3-00024 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301MS(ISO320F), код A25A3-00015 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301MS(ISO400F), код A25A3-00002 — указатель, стр. 257
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301MS(VG350), код A25A3-00029 — указатель, стр. 258
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301P(ISO320F), код A24A3-00019 — указатель, стр. 258
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301P(ISO400F), код A24A3-00016 — указатель, стр. 258
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301P(VG350), код A25A3-00026 — указатель, стр. 258
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301PS(ISO320F), код A25A3-00014 — указатель, стр. 258
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301PS(ISO400F), код A25A3-00001 — указатель, стр. 258
- Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301PS(VG350), код A25A3-00028 — указатель, стр. 258
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 26, 27, 28. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Учебная анимация · 48 секунд
Быстрота откачки и проводимость линии
Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.
Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.
Текстовое пояснение к ролику
Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.
Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.
Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.
Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.
Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.
Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.