Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301. Быстрота откачки по N₂: 4000 / 4300 л/с (ISO320F / ISO400F); Быстрота откачки по H₂: 2700 л/с; Предельное давление после прогрева: 10⁻⁷ Па
Содержание карточки
Вакуумные насосы · CBVAC
Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301. Раздел: Турбомолекулярные насосы MTP.

Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота откачки по N₂ | 4000 / 4300 л/с (ISO320F / ISO400F) |
| Быстрота откачки по H₂ | 9720 м³/ч (2700 л/с) |
| Предельное давление после прогрева | 10⁻⁷ Па |
| Максимальное непрерывное форвакуумное давление | 266 Па (при TMS) |
| Входной фланец | ISO320F или ISO400F |
| Выпускной фланец | KF40 |
| Номинальная частота вращения | 24 240 об/мин |
| Время запуска / останова | ≤ 11 / ≤ 19 мин |
| Шум | < 55 дБ |
| Охлаждение | Водяное, 3 л/мин |
| Продувочный газ | N₂, 50 ± 10 см³/мин (н. у.) |
| Монтажная ориентация | Произвольная |
| Масса | 111 кг |
| Максимальная входная мощность | 1700 ВА; с TMS — 2200 ВА |
| Степень защиты | IP54 |
| Температура прогрева корпуса | < 120 °C |
Подбор и комплектация
При выборе MTP-4301 учитывают газовую нагрузку, давление в камере и проводимость магистрали. Быстрота откачки относится к условиям, указанным в таблице; рабочая быстрота у изделия может быть ниже. Питание, охлаждение и комплект присоединений согласуют для выбранного исполнения.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 256 · Исходная техническая карточка 1 · Исходная техническая карточка 2. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Учебная анимация · 48 секунд
Быстрота откачки и проводимость линии
Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.
Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.
Текстовое пояснение к ролику
Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.
Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.
Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.
Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.
Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.
Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.
Компоновка насоса и подключаемые линии
На схеме из руководства показано исполнение MTP-4301CTMS (ISO320F). Она помогает заранее разместить насос, контроллер и коммуникации внутри установки. Для заказа по краткому названию модели состав опций и расположение подключений нужно сверить с полным обозначением поставляемого исполнения.
В схеме отдельно обозначены форвакуумный патрубок, порт продувки и подключения охлаждения корпуса и контроллера. Это разные коммуникации: при подготовке компоновки для каждой предусматривают свою линию и доступ к соединению. Для исполнений с TMS дополнительно учитывают элементы системы регулирования температуры.
К запросу на подбор полезно приложить чертёж ответного фланца и компоновку камеры, указать рабочий газ, давление на входе, непрерывную газовую нагрузку, имеющийся форвакуумный насос и параметры охлаждения. Такая информация позволяет проверить насос в составе системы, а не только сравнить паспортную быстроту откачки.

Источник: Manual-MTP Pump CBVAC.pdf — PDF, с. 11. Открыть иллюстрацию крупнее.
Высоковакуумные турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом MTP
Для MTP-4301 быстрота определяется газом и входным фланцем. Таблица ниже относится к базовой модели MTP-4301; технологические опции и интерфейс сверяют по полному коду поставляемого насоса.
| Входное исполнение | Азот N₂, л/с | Водород H₂, л/с |
|---|---|---|
| MTP-4301 / ISO320F | 4000 | 2700 |
| MTP-4301 / ISO400F | 4300 | 2700 |
Требуемая форвакуумная быстрота > 1300 л/мин (> 78 м³/ч). SSH20 этому требованию не соответствует. Максимальное непрерывное форвакуумное давление 266 Па приведено для включённой TMS. Предельное давление 10⁻⁷ Па требует прогрева и подготовки системы. Газовая нагрузка ограничивается температурой охлаждающей воды, видом газа и режимом TMS.
Технические источники CBVAC: Руководство MTP — PDF, с. 13 · Руководство MTP — PDF, с. 14 · Буклет MTP — PDF, с. 2.
Сравнение серии, графики и условия применения
Оборудование и связанные материалы
Магнитолевитационный насос CBVAC MTP-2201 CTMS · CBVAC MTP-3201 CTMS · Магнитолевитационный насос CBVAC MTP-4301 CTMS · Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-1601 · Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201
Все вакуумные насосы · Вакуумметры и датчики · lab@techeiscatel.ru



