lab@techeiscatel.ru

+7 (812) 715-00-17

Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201

Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201. Быстрота откачки по N₂: 2200 л/с; Быстрота откачки по Ar: 1900 л/с; Быстрота откачки по H₂: 1700 л/с

Содержание карточки

Вакуумные насосы · CBVAC

Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201. Раздел: Турбомолекулярные насосы MTP.

Изображение из технической карточки: CBVAC MTP-2201
Изображение из технической карточки: CBVAC MTP-2201. Источник изображения

Технические характеристики

ПараметрЗначение
Быстрота откачки по N₂ISO250F: 2200 л/с; для ISO200F в таблице не указана
Быстрота откачки по ArISO250F: 1900 л/с
Быстрота откачки по H₂ISO250F: 1700 л/с
Предельное давление после прогрева10⁻⁷ Па
Максимальное непрерывное форвакуумное давление266 Па (при TMS)
Входной фланецISO200F или ISO250F
Выпускной фланецKF40
Номинальная частота вращения27 000 об/мин
Время запуска / останова≤ 8 / ≤ 11 мин
Шум< 55 дБ
ОхлаждениеВодяное, 3 л/мин
Продувочный газN₂, 50 ± 10 см³/мин (н. у.)
Масса58 / 60 кг
Максимальная входная мощность1200 ВА; с TMS — 1500 ВА
Степень защитыIP54
Интерфейсыдистанционные входы/выходы, RS232/RS485; опционально PROFIBUS или EtherCAT

Подбор и комплектация

При выборе MTP-2201 учитывают газовую нагрузку, давление в камере и проводимость магистрали. Быстрота откачки относится к условиям, указанным в таблице; рабочая быстрота у изделия может быть ниже. Питание, охлаждение и комплект присоединений согласуют для выбранного исполнения.

Связанный материал: Турбомолекулярные насосы MTP

Документация и происхождение данных

Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 254 · Исходная техническая карточка 1 · Исходная техническая карточка 2. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.

← Подбор оборудования в техническом каталоге

Учебная анимация · 48 секунд

Быстрота откачки и проводимость линии

Учебная анимация показывает, почему быстрота откачки у камеры отличается от значения на входе насоса. Формула связывает насос и проводимость соединительной линии. Наглядно сравниваются короткий широкий тракт и длинный узкий. Объясняется влияние арматуры, режима течения и свойств газа. Схемы качественные: они не являются расчётом или испытанием конкретной насосной системы.

Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.

Открыть или скачать MP4

Текстовое пояснение к ролику

Насос и камера работают через линию Трубопровод, клапаны и другие элементы ограничивают перенос газа. У камеры действует эффективная быстрота откачки.

Проводимость входит в расчёт откачки Для установившегося потока: 1/Sэфф = 1/Sнас + 1/C. Все три величины выражают в согласованных единицах объёмного расхода.

Короткий широкий тракт проводит газ лучше При одинаковом газе и режиме течения увеличение прохода и сокращение длины повышают проводимость соединительной линии.

Узкая длинная линия ограничивает насос Насос с высокой быстротой откачки не устраняет сопротивление тракта. Эффективная быстрота откачки ограничена проводимостью линии.

Арматуру учитывают вместе с трубопроводом Для последовательных элементов складывают обратные проводимости. Клапан, фильтр и переходник входят в общий расчёт.

Подбирают весь вакуумный тракт Учитывают газ, давление и режим течения. Короткая линия и достаточное проходное сечение помогают реализовать возможности насоса.

Компоновка насоса и подключаемые линии

На схеме из руководства показано исполнение MTP-2201CTMS (ISO250F). Она помогает заранее разместить насос, контроллер и коммуникации внутри установки. Для заказа по краткому названию модели состав опций и расположение подключений нужно сверить с полным обозначением поставляемого исполнения.

В схеме отдельно обозначены форвакуумный патрубок, порт продувки и подключения охлаждения корпуса и контроллера. Это разные коммуникации: при подготовке компоновки для каждой предусматривают свою линию и доступ к соединению. Для исполнений с TMS дополнительно учитывают элементы системы регулирования температуры.

К запросу на подбор полезно приложить чертёж ответного фланца и компоновку камеры, указать рабочий газ, давление на входе, непрерывную газовую нагрузку, имеющийся форвакуумный насос и параметры охлаждения. Такая информация позволяет проверить насос в составе системы, а не только сравнить паспортную быстроту откачки.

Компоновка MTP-2201CTMS (ISO250F): схема CBVAC из руководства. Обозначения относятся к показанному исполнению.
Компоновка MTP-2201CTMS (ISO250F): схема CBVAC из руководства. Обозначения относятся к показанному исполнению.

Источник: Manual-MTP Pump CBVAC.pdf — PDF, с. 10. Открыть иллюстрацию крупнее.

Высоковакуумные турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом MTP

Для MTP-2201 быстрота определяется газом и входным фланцем. Таблица ниже относится к базовой модели MTP-2201; технологические опции и интерфейс сверяют по полному коду поставляемого насоса.

Входное исполнениеАзот N₂, л/сВодород H₂, л/с
MTP-2201 / ISO250F22001700

Требуемая форвакуумная быстрота > 1300 л/мин (> 78 м³/ч). SSH20 этому требованию не соответствует. Максимальное непрерывное форвакуумное давление 266 Па приведено для включённой TMS. Предельное давление 10⁻⁷ Па требует прогрева и подготовки системы. Газовая нагрузка ограничивается температурой охлаждающей воды, видом газа и режимом TMS.

Технические источники CBVAC: Руководство MTP — PDF, с. 13 · Руководство MTP — PDF, с. 14 · Буклет MTP — PDF, с. 2.

Сравнение серии, графики и условия применения

Оборудование и связанные материалы

Магнитолевитационный насос CBVAC MTP-2201 CTMS · CBVAC MTP-3201 CTMS · Магнитолевитационный насос CBVAC MTP-4301 CTMS · Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-1601 · Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301

Все вакуумные насосы · Вакуумметры и датчики · lab@techeiscatel.ru

Написать по email

Выбранное оборудование