Бустерный насос MBS 053

Вакуумные насосы · ULVAC

Компактная ступень Рутса для увеличения быстроты откачки в составе согласованной вакуумной системы.

В спецификации указано предельное давление 4×10⁻² Па для соответствующей конфигурации откачки. Бустер не заменяет форвакуумный насос и не оценивается как самостоятельная ступень от атмосферы.

Управление и защита

Включение и режим работы согласуют с фактическим давлением, газовой нагрузкой, допустимым перепадом и готовностью форнасоса. Для автоматического поста предусматривают сигналы состояния, контроль давления и безопасную последовательность остановки.

Применение

Лабораторные стенды, вакуумирование полостей и резервуаров, повышение производительности существующей откачной линии. При замене форнасоса требуется повторная проверка рабочей точки и тепловой нагрузки бустера.

MBS-053 в составе форвакуумной станции

Зачем нужен бустер

Механический бустер повышает быстроту системы в своей рабочей области. Его используют совместно с форвакуумным насосом: один бустер не откачивает камеру до заданного давления во всём диапазоне. Для MBS-053 в исходных данных указан рекомендуемый форнасос 130–240 л/мин.

Согласование насосов

Проверяют давление включения, допустимый перепад и защиту от перегрузки. Время цикла оценивают по совместным характеристикам обоих насосов, объёму камеры и сечению соединений. Переходники JIS VG40/VF40 включают в спецификацию при присоединении к другой системе фланцев.

Комплект станции

Отдельно предусматривают датчики, клапаны, опорную раму и логику пуска/остановки. Наличие смазки в предусмотренном конструкцией узле не равно масляному уплотнению всего газового тракта. Для обслуживания MBS-053 используют указанное SMR-200 и сверяют объём по руководству.