Криогенная техника и вспомогательные узлы. Компоненты для комплектации вакуумных и криогенных установок по техническому заданию.
Содержание карточки
Вакуумные системы и установки
Компоненты для комплектации вакуумных и криогенных установок по техническому заданию.
| Серия или решение | Назначение и особенности |
|---|---|
| CRYO-U | Криогенная откачка с подбором компрессора, линий и режима регенерации. |
| EMP-14A EMP-14W | Генераторы жидкого азота; воздушное или водяное исполнение по обозначению. |
| ELEC COVOT NCH | Вакуумные транспортные роботы и платформы для технологической интеграции. |
| Арматура и трубопровод | Клапаны, сильфоны, переходники, соединения и измерительные порты. |
| ULVOIL | Рабочие масла разных назначений; марку выбирают по руководству насоса. |
| BARRIERTA J FLUID | Специализированная рабочая жидкость для предусмотренных изготовителем применений. |
Применение
Чистота, тепловая нагрузка, вибрация и сервисный доступ определяют конфигурацию вспомогательного оборудования. Для переноса изделий в вакууме отдельно согласуют геометрию подложки, передаточные позиции и интерфейс управления.
Выбор и комплектация
Состав поставки фиксируют по артикулам. Жидкости, уплотнения, кабели и фильтры одного производителя не являются универсально взаимозаменяемыми. Раздел ULVAC охватывает семейства пользовательского каталога; наличие и конкретное исполнение согласуются в заявке.
ULVAC: криогенная откачка и сервис
Газовая ёмкость
Скорость и ёмкость крионасоса зависят от газа. Большая номинальная быстрота не исключает ограничения по накопленной нагрузке и периодичности регенерации. Для водяного пара, воздуха и лёгких газов режимы захвата различаются; состав потока задают при подборе.
Инфраструктура
Проверяют компрессорный блок, длину гелиевых линий, охлаждение и условия помещения. При интеграции обеспечивают доступ к обслуживаемым узлам и возможность безопасной регенерации. Температурные сигналы и состояния компрессора включают в управление установкой.
Проверка после обслуживания
Контролируют время охлаждения, устойчивость температуры, фон и откачную характеристику в согласованных условиях. Замена отдельных элементов не заменяет проверку полной системы. Параметры до и после ремонта сохраняют в сервисной документации.
KYKY
Контроль герметичности
и высокий вакуум
03
Гелиевый контроль с оборудованием KYKY 74
Турбомолекулярная откачка FF и CXF 77
Измерители давления и вакуумные затворы 81
Электронная микроскопия и подготовка образцов 84
Вакуумная арматура и измерительные узлы 89
Подробные характеристики и комплектация представлены на следующих страницах.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 71, 72, 73. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
HM-230 — семейство многодиапазонных анализаторов остаточных газов
Чувствительность FC: 3 × 10⁻⁴ А/Торр
Разрешение при 10 % высоты пика: 1 а. е. м.
Ионный источник: открытый или закрытый с противозагрязняющим покрытием
XST BG-DZ-1 — установка вакуумирования и заполнения азотом
BG-DZ-1 — специальная установка XST для вакуумирования и азотного замещения остаточного газа в цистернах перед осмотром. Конфигурация включает механический вакуумный насос, откачную линию и подачу азота.
Быстрота механического насоса: ≥28 л/с (≥100,8 м³/ч)
Откачное присоединение: DN35, проход 35 мм; одно в описанной комплектации
Высота откачного присоединения: Около 850 мм по таблице
XST STFJ-600 — установка испытаний при вакууме и избыточном давлении
STFJ-600 — интегрированная установка XST с вакуумной камерой, молекулярным и пластинчато-роторным насосами для испытаний при изменении давления и исследований вакуумного дугогашения.
Быстрота откачки основной ступени: 600 л/с (2160 м³/ч)
Предельное остаточное давление: ≤5 × 10⁻⁴ Па без газовой нагрузки
Размеры рабочей полости по таблице: 350 × 350 мм; форма сечения не уточнена