Анализ остаточных газов QGA. Квадрупольный масс-спектрометр помогает понять состав газовой нагрузки и причину ухудшения вакуума.
Газовый анализ
Квадрупольный масс-спектрометр помогает понять состав газовой нагрузки и причину ухудшения вакуума.
| Исполнение | Диапазон масс | Детектор |
|---|---|---|
| QGA100F | 1–100 а.е.м. | Чашка Фарадея |
| QGA200F | 1–200 а.е.м. | Чашка Фарадея |
| QGA300F | 1–300 а.е.м. | Чашка Фарадея |
| QGA100M | 1–100 а.е.м. | Электронный умножитель |
| QGA200M | 1–200 а.е.м. | Электронный умножитель |
| QGA300M | 1–300 а.е.м. | Электронный умножитель |
Что можно исследовать
Остаточную воду, воздух, углеводороды и изменение состава газа по стадиям откачки или нагрева. Анализатор полезен при поиске внешнего натекания, оценке газовыделения материалов, проверке чистоты вакуумного тракта и исследовании изоляции криогенных систем.
Как читать спектр
Один массовый пик не всегда соответствует одному веществу. Нужны учёт фрагментации, перекрывающихся масс, фонового спектра и условий ионизации. Количественная оценка концентрации требует подходящей калибровки. RGA не заменяет автоматически калиброванный гелиевый течеискатель.
Состав системы
Анализатор, контроллер, программное обеспечение, вакуумное присоединение, кабели и защитные блокировки. Если давление объекта выше допустимого для анализатора, требуется система отбора и дифференциальной откачки. Граничное давление, прогрев и допустимые среды согласуют по паспорту.
В обозначениях QGA сохраняют индекс F или M. Диапазон масс и тип детектора выбирают по задаче; минимальная масса, разрешение и чувствительность — отдельные параметры.
Instrue QGA: остаточные газы и контроль процесса
Массовый диапазон и детектор
QGA100, QGA200 и QGA300 различаются верхней границей массового диапазона. Исполнения F используют коллектор Фарадея, M — электронный умножитель. Детектор выбирают по требуемому уровню сигнала, динамическому диапазону и условиям эксплуатации, а не только по числу масс.
Интерпретация спектра
Одна масса может соответствовать нескольким веществам или фрагментам молекул. Для диагностики используют набор характерных пиков, фон и изменение во времени. Проверку подсоса проводят управляемым воздействием и подтверждают повторяемость реакции.
Проба и количественный результат
При недопустимом для анализатора давлении требуется согласованный пробоотбор. Для концентраций необходима калибровка с учётом газовой чувствительности и дискриминации тракта. Источник ионов защищают от превышения давления, загрязнения и неконтролируемого напуска.
QGA: анализ остаточных газов
Схема показывает применение QGA к вакуумной изоляции. Количественный анализ требует калибровки полного пробоотборного тракта.
Оригинальная публикация Ликлаб / Вернуться к разделу
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 111, 112, 113. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.