Газовый анализ Actmass. Системы для остаточных газов, технологического мониторинга и измерения газовыделения.
Содержание карточки
Газовый анализ
Системы для остаточных газов, технологического мониторинга и измерения газовыделения.
| Серия или решение | Назначение и особенности |
|---|---|
| RGA | Измерение парциальных давлений непосредственно в вакуумной системе. |
| PGA | Переносная система газового анализа для разных точек подключения. |
| MLS211 | Онлайн-масс-спектрометр для непрерывного наблюдения за процессом. |
| MLS211M | Газовый контроль полупроводниковых процессов и чистоты камеры. |
| OGMS | Системы измерения скорости газовыделения материалов и изделий. |
| DEMS | Наблюдение за газами электрохимических процессов во времени. |
| Индивидуальные системы | Камера, откачка, ввод пробы, анализатор и автоматизация под измерительную задачу. |
Применение
Actmass связывает измерение состава газа с технологическим событием. Для анализа процесса важно учитывать время транспортировки пробы, память трубопровода, фон и относительную чувствительность к разным компонентам.
Выбор и комплектация
Определяют целевые массы, концентрации или парциальные давления, тип детектора, давление отбора и динамику процесса. Приёмка включает фоновый спектр, проверку массовой шкалы, задержки полного тракта, регистрации и обмена с АСУ.
Actmass: масс-спектрометрия в газовом анализе
Аналитическая задача
Задают компоненты, ожидаемые концентрации, давление и требуемое время отклика. Массовый диапазон выбирают по аналитическим признакам веществ и их фрагментов. Наличие пика само по себе не является однозначным доказательством конкретного соединения.
Пробоотбор
Давление процесса согласуют с допустимым давлением анализатора через подходящий тракт отбора. Для конденсируемых веществ оценивают нагрев и материал линии. Длина капилляра, расход и мёртвый объём определяют транспортную задержку и динамику сигнала.
Калибровка и данные
Для количественного анализа используют подходящие контрольные смеси и процедуру расчёта. Записывают фон, режим источника, давления и настройки детектора. Результат привязывают к условиям отбора, чтобы сравнивать партии и воспроизводить измерение.
Исполнения и позиции указателя (10)
Обозначения приведены по указателю каталога. Характеристики конкретного исполнения проверяют по его документации.
- DEMS — анализ газовыделения — указатель, стр. 328
- MLS211M — процессный газоанализатор — указатель, стр. 328
- OGMS — измерение скорости газовыделения — указатель, стр. 328
- PGA — портативный газоанализатор — указатель, стр. 328
- RGA — анализатор остаточных газов — указатель, стр. 328
- BLD-01 — контроль утечек аккумуляторных ячеек — указатель, стр. 328
- MLS211 — онлайн-масс-спектрометр — указатель, стр. 328
- BLD-02 — контроль герметичности PACK-модулей — указатель, стр. 328
- BLD-02 — мобильный газовый анализатор — указатель, стр. 328
- Индивидуальные вакуумные системы — указатель, стр. 328
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 135, 136. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Связанное оборудование
Теги товара помогают найти изделия по типу, бренду и присоединению. Совместимость, размеры и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
HM-100 — анализатор остаточных газов (RGA)
Длина датчика: 315 мм
Общая длина: 486 мм
Разрешение при 10% высоты пика: <1 а. е. м.
HM-Leaklab-100 — Анализатор остаточных газов RGA
Квадрупольный измерительный модуль для качественного и количественного анализа остаточных газов в вакуумном объёме. Определяет компоненты по отношению массы иона к заряду; среди рассматриваемых газов — вода, кислород, азот и диоксид углерода. Для работы необходимы система отбора пробы, вакуумное обеспечение и программное обеспечение анализа. Это измерительный модуль RGA, а не самостоятельный гелиевый течеискатель.
Полная длина: 486 мм
Разрешение по массе при 10 % высоты пика: <1 а.е.м.
Детектор: FC/CEM
HM-Leaklab-130 — Высокочувствительный анализатор остаточных газов
Анализатор остаточных газов для полупроводниковых процессов и вакуумного нанесения покрытий. Предназначен для контроля следовых примесей и динамики газового состава. Заявлены минимальное парциальное давление 2·10⁻¹⁵ Торр, скорость сканирования 2 мс на точку и диапазон масс до 300 а.е.м. Конкретное исполнение и условия достижения характеристик уточняют при подборе.
Наименование: Высокопроизводительный анализатор остаточных газов
Габариты Д × Ш × В: 450 × 120 × 120 мм
Электропитание и мощность: 220 В переменного тока, 50 Гц; 120 Вт