Предназначен для использования в сверхвысокоомных входных каскадах электрометрических усилителей.
Широко применяется во многих измерительных приборах отечественного производства, в частности:
Универсальный щуп для щупового (sniffer) метода течеискания гелием. Конструкция обеспечивает малую задержку отклика, точную локализацию микроподтечек и долговечную работу в производственных условиях. Совместим с большинством масс-спектрометрических течеискателей через стандартные присоединения ISOKF.
Щуп механически и по расходу согласуется с входами щупового режима массовых течеискателей. Базовые варианты подключения: ISOKF16, ISOKF25, резьба M5; по запросу поставляются адаптеры к другим стандартам.
Если вашей модели нет в списке — укажите тип входа щуповой линии, и мы укомплектуем подходящим адаптером.
Специалисты «Ликлаб» подготовили практический обзор современных датчиков давления ULVAC — от Пирани для низкого вакуума до ионизационных датчиков для высокого и сверхвысокого вакуума, а также емкостных манометров для прецизионных процессов. Ниже — краткий путеводитель по линейкам, рекомендации по выбору, интеграции и сервису.
G-TRAN SP1 — компактный термокондукционный датчик для повседневного мониторинга низкого вакуума, удобен в лабораторных и производственных установках.
G-TRAN SW100 — «широкодиапазонный» Пирани с быстрым откликом и устойчивостью к загрязнениям; подходит для шлюзов и общепромышленных камер.
G-TRAN SC1 — холоднокатодный (Penning) датчик: компактный, с хорошей стойкостью к перезагрязнению; работает в областях HV/UHV.
G-TRAN SH200 и ST200 — ионизационные датчики для высокого вакуума; в связке с фирменными источниками и усилителями обеспечивают стабильную работу и калибровку.
Ax-TRAN — компонентное семейство ионизационных датчиков для OEM-интеграции в системы высокого и сверхвысокого вакуума.
CCMT-D — прецизионные емкостные датчики абсолютного давления с термостабилизацией и высокой точностью в низких диапазонах. Независимы от состава газа — идеально для технологических уставок.
G-TRAN ISG1 — компактный одноканальный контроллер для датчиков G-TRAN; удобен для единичных постов.
G-TRAN IM1R1/IM2R1 — модульные контроллеры на несколько каналов (в т.ч. комбинации Пирани + ионизационный) для многокамерных установок и НИОКР-стендов.
| Задача/режим | Рекомендуемый тип | Почему |
|---|---|---|
| Быстрый мониторинг откачки шлюза, rough-линия | Пирани (SP1, SW100) | Недорогие, стойкие к неидеальному газу, быстрый отклик и широкий диапазон. |
| Стабильный контроль HV (10−3…10−7 мбар) | Холодный катод (SC1) | Меньше риск деградации катода, устойчивость к загрязнениям, компактность. |
| UHV и метрологичный контроль нижнего диапазона | Ионизационные (SH200/ST200/Ax-TRAN) | Высокая чувствительность и стабильность при правильной калибровке и прогреве. |
| Точные технологические процессы (CVD/PVD, дозирование) | Емкостные CCMT-D | Абсолютное измерение, независимое от состава газа, термостабилизация сенсора. |
| Один пост/одна камера | Контроллер ISG1 | Простой монтаж и интеграция с датчиками G-TRAN. |
| Многокамерная установка, стенд НИОКР | Контроллеры IM1R1/IM2R1 | Мультиканальность, единая платформа для нескольких датчиков. |
Датчики ULVAC поддерживают стандартные фланцы KF/CF/ISO, контроллеры — типовые сигналы для ПЛК/SCADA. Для схемы «шлюз + процессная камера» рациональна связка: SW100 на rough-участке, SC1 или SH200 в зоне HV и CCMT-D как метрологическая «опорная» мерка давления, управляемые через ISG1 (один пост) либо IM1R1/IM2R1 (несколько каналов).
Мы поможем подобрать оптимальную конфигурацию датчиков под конкретный процесс, спроектируем узел измерения (фланцы, расположение, фильтрация), интегрируем в ПЛК, подготовим методики, обеспечим сервис, калибровку и поверку с метрологической прослеживаемостью.
Вакуумметры и датчики вакуума · ULVAC
Контроль общего давления и состава остаточной среды в вакуумной камере.
| Серия или решение | Назначение и особенности |
|---|---|
| SW100-A SW100-R | Трансмиттеры; диапазон по каталогу 5 × 10⁻²–1 × 10⁵ Па. |
| GP-G | Пирани-вакуумметры для контроля форвакуумной области. |
| SWU10-U | Пирани-вакуумметр с непосредственным USB-подключением к совместимому устройству. |
| Трансмиттерные и комбинированные серии | Выбор измерительной головки и контроллера по требуемому диапазону. |
| Qulee BGM2 | Квадрупольный анализ остаточных и технологических газов. |
| Qulee QCS | Программное обеспечение для настройки, наблюдения и регистрации газового анализа. |
Общее давление служит для управления откачкой и защиты оборудования. RGA дополнительно показывает парциальные давления и помогает различать воздух, воду, остатки технологических газов и загрязнение.
Определяют диапазон масс, детектор, допустимое давление анализатора, фланец, длину зонда, прогрев и отбор пробы. Пирани требует учёта газа; измерительный диапазон датчика не является диапазоном гарантированной точности.
Вакуумметр отвечает на вопрос о давлении, газоанализатор — о составе остаточной среды. Эти измерения дополняют друг друга. Рост отдельного массового пика интерпретируют с учётом спектра фрагментации, фона камеры и состояния источника ионов, а не только номера массы.
Для Qulee согласуют допустимое давление включения, интерфейс, питание и программное обеспечение. При более высоком давлении используют предусмотренную систему отбора и понижения давления. Защита источника ионов должна отключать его при выходе за рабочую область.
Сравнивают фон после прогрева, спектр при подаче рабочего газа и изменение во времени. Для поиска подсоса полезен контролируемый пробный газ и повторяемая процедура. Количественный анализ требует соответствующей калибровки и учёта чувствительности к отдельным компонентам.
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 67, 68. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Виды вакуумных клапанов, предлагаемых компанией ООО «Ликлаб»:
Манометром называют прибор для измерения давления газа или жидкости. Приборы для измерения давления ниже атмосферного называются вакуумметрами. Диапазон давлений, которые имеют место в вакуумной технике, составляет семнадцать порядков: от атмосферного до 10-12 Па.
Величина диапазона настолько значительна, что его измерение одним типом вакуумметра невозможно. Разработано большое количество типов вакуумметров, работающих в своём диапазоне, определяемом физикой преобразования давления.
Встраиваемая модель Ulvac Unecs-1M обладает малыми габаритами и позволяет реализовать в комплексной системе такие функции эллипсометрических измерений, как:
• Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
• Измерение оптических констант образцов
• Исследование структуры материалов
• Анализ состояния поверхности и структуры
Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M - это легкая и компактная модель, разработанная для встраивания в различные системы, подходящая для измерений и в вакууме, и при атмосферном давлении.
Автоматические спектральные эллипсометры ULVAC UNECS-1500A, UNECS-2000A и UNECS-3000A измеряют толщину и оптические параметры тонких плёнок с построением карты по поверхности подложки. Страница содержит характеристики исходной серии и официальный статус завершения её продаж.
Ulvac UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок: оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.
Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M отличается тем, что имеет настраиваемый вручную столик для образцов d 150 мм.
Позволяет легко устанавливать измеряемые точки с помощью точного настраиваемого R-θ предметного столика.
Применение уникального метода измерения позволяет реализовать высокоскоростные измерения в малых габаритах устройства, такие как:
Легкая и компактная переносная модель спектрального эллипсометра Ulvac.
Масса измерительного устройства всего 2,2 кг. Оно легко может быть доставлено на место проведения измерений.
Также позволяет измерять образцы больших размеров при отсоединении специального столика и установки устройства прямо на образец или установку.
Комплект поставки эллипсометра Ulvac Unecs-portable
Компания Ликлаб представляет в России спектральные эллипсометры ULVAC UNECS, изготавливаемые в Японии. UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок.
Применение уникального метода измерения позволяет проводить высокоскоростные измерения при малых габаритах устройства. Широкая серия приборов Ulvac Unecs включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.
• Высокоскоростное измерение
Реализован метод моментального снимка и высокоскоростное измерение в 20 мс на точку.
• Видимая область спектра
Изменяемая область спектра длин волн. Стандартная область 530 нм ~ 750 нм и видимая область 380 нм ~ 760 нм.
• Компактный сенсор
Сенсор легок и очень компактен. Он состоит из оптического элемента без вращающихся частей. Кроме того, нет необходимости в периодическом техническом обслуживании.
• Широкая приборная серия
Широкая серия приборов включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.
