Оборудование — Страница 6

ULVAC Qulee CGM2-101 — квадрупольный анализатор остаточных газов с диапазоном масс 1–100 а.е.м., коллектором Фарадея и подключением Ethernet. Его применяют для контроля газовой среды вакуумных установок распыления и напыления, остаточной влаги, загрязнений и признаков натекания воздуха.

Принадлежности ULVAC Qulee включают источники ионов, нагревательные кожухи, адаптер питания, средства подключения и транспортный кейс. Совместимость ниже приведена для исходных серий CGM, BGM и HGM по каталогу изготовителя; она помогает идентифицировать запасную часть по маркировке прибора.

Qulee QCS — программное обеспечение ULVAC для управления анализаторами остаточных газов, сохранения спектров, трендов и результатов контроля герметичности. Ниже отдельно указаны возможности QCS 4.2 и ограничения применимости к прежним поколениям приборов.

ULVAC Qulee RGM-202 и RGM-302 — системы анализа технологического газа с квадрупольным масс-фильтром, закрытым источником ионов и дифференциальной откачкой. Они предназначены для наблюдения за газовыми процессами, включая травление и химическое осаждение из газовой фазы.

Система ULVAC Qulee с YTP-50M объединяет квадрупольный анализатор, газовый ввод и дифференциальную откачку. Исходная конфигурация служит для анализа технологического газа и остаточной атмосферы при выбранном давлении отбора пробы.

ULVAC Qulee HGM-202 и HGM-302 — квадрупольные анализаторы для исследований остаточных газов и контроля газовой среды в высоком вакууме. Обе модели используют коллектор Фарадея и вторично-электронный умножитель; диапазон масс и чувствительность FC зависят от исполнения.

ULVAC Qulee CGM-051 и CGM-052 — квадрупольные анализаторы остаточных газов с диапазоном масс 1–50 а.е.м. Они применяются для контроля состава газовой среды при распылении, остаточной влаги и признаков натекания воздуха в вакуумную установку.

ULVAC Qulee BGM исходного поколения — квадрупольные анализаторы для вакуумных печей, установок напыления и исследования остаточных газов. Модели различаются диапазоном масс и наличием электронного умножителя.