Система ULVAC Qulee с YTP-50M объединяет квадрупольный анализатор, газовый ввод и дифференциальную откачку. Исходная конфигурация служит для анализа технологического газа и остаточной атмосферы при выбранном давлении отбора пробы.
Анализ газов · ULVAC
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Совместимые анализаторы исходного комплекта | BGM-101/102/201/202 либо HGM-302 |
| Диапазоны масс | 1–100 а.е.м. для BGM-101/102; 1–200 для BGM-201/202; 1–300 для HGM-302 |
| Максимальное давление отбора пробы | Отдельные исполнения: атмосфера, 500, 100, 10 либо 1 Па |
| Газовый ввод 500–1 Па | Ручной сильфонный клапан; фланец UFC070 по каталогу |
| Высоковакуумный пост | YTP-50M |
| Турбомолекулярный насос | 50 л/с по N₂ |
| Форвакуумная ступень | Выбор пластинчато-роторного или сухого насоса |
| Предельное давление поста | <1 × 10⁻⁷ Па после прогрева ТМН по каталогу |
| Вакуумметр поста | Пирани GP-1G |
| Питание поста YTP-50M | Однофазное 100 В AC, 14 А |
| Атмосферный ввод | APS-001, отдельное исполнение |
| Сухой насос APS-001 | 6 л/мин; предельное давление 6700 Па |
| Капиллярный ввод APS-001 | Ручной сильфонный клапан; присоединение 1/4″ Swagelok по каталогу |
| Питание APS-001 | Однофазное 100 В AC, 5 А |
| Кабель блока управления APS-001 | 3 м |
| ПО исходного комплекта | Qulee QCS 3.0; Windows XP/7 по каталогу 1616E |
| Комплектность поставочных узлов | Пост, анализатор, ввод и другие части упаковывались отдельно; сборка по руководству |
| Ионизационный вакуумметр, опция | Комплект GI-M2, M-13, кабель 2 м и присоединительные детали |
Устройство, исполнение и условия применения
Давление отбора пробы относится к входной среде. Измерение внутри анализаторной трубки выполняется при другом, существенно меньшем давлении, которое обеспечивает дифференциальная откачка.
Атмосферный ввод APS-001 и исполнения 500/100/10/1 Па имеют собственную конфигурацию. Перечень предельных давлений не означает произвольное программное переключение одного комплекта между всеми вариантами.
В заводской таблице указан фланец UFC070. Его точное исполнение проверяют по чертежу и сопрягаемому оборудованию; обозначение не заменено предположением о стандарте.
Значение <1 × 10⁻⁷ Па относится к посту после прогрева ТМН. Оно не гарантирует такое давление при подаче пробы и не определяет минимальное парциальное давление каждого анализатора.
Питание исходной системы — 100 В AC. Значения 100–240 В и насос YTP-70A-D относятся к другому поколению и на YTP-50M не переносятся. Суммарный ток установки нельзя получать без проверки состава поста и атмосферного ввода.
Исходные BGM и HGM сняты с производства; сведения здесь сохранены для установленного оборудования. Современные Qulee with YTP-H, BGM2 и QCS 4.2 имеют собственные параметры и интерфейсы.
Документация и источники
- ULVAC Qulee с YTP-50M — каталог 1616E (PDF)
- ULVAC — завершение продаж BGM/HGM, уведомление 846PY_C (PDF)
- ULVAC — современное поколение Qulee with YTP-H, для сопоставления
Проверено 9 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
- ULVAC Qulee BGM-101/102/201/202 — анализаторы остаточных газов
- Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM
- Программное обеспечение QCS для масс-спектрометров Ulvac Qulee
- Аксессуары для квадрупольных масс-спектрометров Ulvac Qulee
- Течеискатели и насосы ULVAC
Технический каталог оборудования
Контакты лаборатории
Ранее опубликованные материалы
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
Безмасляная система для анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302
ULVAC Qulee RGM-202 и RGM-302 — системы анализа технологического газа с квадрупольным масс-фильтром, закрытым источником ионов и дифференциальной откачкой. Они предназначены для наблюдения за газовыми процессами, включая травление и химическое осаждение из газовой фазы.
Диапазон масс RGM-202: 1–200 а.е.м.
Диапазон масс RGM-302: 1–300 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
ULVAC Qulee BGM-101/102/201/202 — анализаторы остаточных газов
ULVAC Qulee BGM исходного поколения — квадрупольные анализаторы для вакуумных печей, установок напыления и исследования остаточных газов. Модели различаются диапазоном масс и наличием электронного умножителя.
Диапазон масс BGM-101/102: 1–100 а.е.м.
Диапазон масс BGM-201/202: 1–200 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM
ULVAC Qulee HGM-202 и HGM-302 — квадрупольные анализаторы для исследований остаточных газов и контроля газовой среды в высоком вакууме. Обе модели используют коллектор Фарадея и вторично-электронный умножитель; диапазон масс и чувствительность FC зависят от исполнения.
Диапазон масс HGM-202: 1–200 а.е.м.
Диапазон масс HGM-302: 1–300 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный