EM-6900 — сканирующая электронная микроскопия KYKY. Изображения, технические параметры с условиями разрешения, детекторы, столик и различия исполнений.
Содержание карточки
Микроскопия и тонкие плёнки
Обозначение EM-6900 сохранено как название серии в прежнем каталоге. Техническая таблица ниже относится к EM6910, прямо названному в заводском источнике.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Исполнение технической таблицы | EM6910, серия EM69; страница источника обозначена EM6900 Std |
| Электронная пушка | Предцентрированная вольфрамовая нить накала |
| Разрешение по вторичным электронам SE | 3 нм при 30 кВ; 8 нм при 3 кВ |
| Разрешение по обратнорассеянным электронам BSE | 4 нм при 30 кВ; детектор BSE — опция |
| Увеличение | 1–450 000× |
| Ускоряющее напряжение | 0,2–30 кВ |
| Вакуумная система | Турбомолекулярный и механический насосы |
| Апертура объектива | Молибденовая; регулировка снаружи вакуумной системы |
| Столик | Пять осей; автоматические X/Y, ручные Z/R/T по таблице EM6910 |
| Ходы X / Y | 0–80 / 0–50 мм, автоматические |
| Ход Z | 0–30 мм, ручной |
| Вращение R / наклон T | 360° / −5…+70°, ручное управление |
| Максимальный диаметр образца | 175 мм по таблице EM6910 |
| Детекторы | SE и инфракрасная CCD; полупроводниковый BSE, низковакуумные SE/BSE — опции |
| Низковакуумный режим — опция | 10–270 Па; разрешение SE 4 нм при 30 кВ и 50 Па |
| Дополнительное оснащение | LaB₆, EDS, EBSD, CL, WDS, установка напыления; по согласованной конфигурации |
Устройство, исполнение и условия применения
Заводская страница имеет обозначение EM6900 Std, но заголовок самой таблицы — EM6910. Поэтому численные характеристики здесь явно привязаны к EM6910. Они не означают, что ранее поставленный EM-6900 без такого индекса имеет тот же столик, детекторы или диапазон увеличений.
По заводской таблице у EM6910 автоматизированы X и Y, а Z, вращение и наклон имеют ручное управление. Формулировка поставщика «пятиосевой автоматический столик» не перенесена без уточнения. Для полностью моторизованного исполнения требуется отдельная спецификация.
LaB₆ и аналитические приставки перечислены как возможное оснащение, а не базовая поставка. Параметры сторонних EDS/EBSD из страницы поставщика не включены в паспорт микроскопа: площадь SDD, энергетическое разрешение и скорость камеры относятся к конкретному детектору.
Низковакуумная опция полезна при наблюдении плохо проводящих материалов; строка 4 нм относится именно к 30 кВ и 50 Па. Это не замена высоковакуумной характеристики 3 нм и не утверждение, что все образцы можно исследовать без покрытия.
SE, BSE, EDS и EBSD решают разные задачи: изображение поверхности, контраст состава, элементный и кристаллографический анализ. Подбор выполняют по материалу, размеру образца и требуемому результату; вакуумное напыление и низковакуумный режим выбирают по условиям исследования. Статус утверждения типа и поверки по изображению или названию страницы не устанавливается.
Документация и источники
Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8000
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8100
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8200
- Ионный напылитель для подготовки образцов SEM KYKY SBC-12
- Магнетронная напылительная установка SBC-16
Технический каталог оборудования