SBC-12 — установка нанесения проводящих покрытий на образцы для сканирующей электронной микроскопии. Камера, мишень, вакуумная система и фотографии исполнений.
Содержание карточки
Микроскопия и тонкие плёнки
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Назначение | Нанесение проводящего покрытия на образцы СЭМ |
| Марка опубликованного заводского исполнения | KYVAC; публикация 北京中科科美科技股份有限公司 |
| Материалы покрытия по странице KYVAC | Золото, платина, серебро, медь, алюминий; нужная мишень выбирается отдельно |
| Диаметр золотой мишени | 58 мм |
| Стеклянная рабочая камера | Диаметр 100 мм; высота 130 мм |
| Столик / держатели образцов | Диаметр 40 мм; до 6 чашек образцов по описанию |
| Вакуумная система | Пластинчато-роторный насос прямого привода, 2 л/с |
| Контроль давления | Вакуумметр Пирани |
| Вакуумная защита | 20 Па; рабочий вакуум регулируют клапаном малого напуска |
| Рабочий газ | Воздух или аргон; отдельный ввод аргона и регулировка малого напуска |
| Электропитание | 220 В, 50 Гц |
| Скорость осаждения — экспортная публикация | 2–10 нм/мин; материал, ток и расстояние требуют уточнения |
| Золотая мишень — экспортная публикация | Диаметр 58 мм; толщина 0,12 мм |
Устройство, исполнение и условия применения
SBC-12 предназначен для подготовки образцов к СЭМ путём нанесения проводящего слоя. Покрытие помогает уменьшать зарядку образца, но также изменяет его поверхность; материал и толщину выбирают с учётом последующего изображения и элементного анализа.
Основная таблица взята с заводской страницы KYVAC. Микронапуск регулирует рабочий газ и давление. Значение 20 Па обозначено как вакуумная защита, а не как предельное остаточное давление установки и не как гарантированное давление любого процесса.
Быстрота 2 л/с относится к форвакуумному насосу. Она не задаёт скорость откачки камеры на всём диапазоне давлений. Диаметр камеры 100 мм, диаметр мишени 58 мм и диаметр столика 40 мм описывают разные детали и не заменяют друг друга.
Экспортная таблица отдельно перечисляет 75–150 мм как диапазон диаметра рабочей камеры, но далее указывает стеклянную камеру 100×130 мм. Для основного исполнения использован согласованный с KYVAC размер 100×130 мм; другие камеры не объявлены штатными без комплектации.
Скорость 2–10 нм/мин приведена только как диапазон из экспортной публикации: она зависит от мишени, тока, рабочего газа, расстояния и геометрии образца. Толщину покрытия нельзя гарантировать одним таймером без калибровки конкретного процесса.
Шесть чашек на столике не означают шесть образцов диаметром по 40 мм. Размеры чашек и допустимую высоту образцов проверяют по оснастке. Варианты внешнего вида KYVAC и экспортной KYKY показаны раздельно; наличие конкретного исполнения не заявляется.
Иллюстрации и исходные таблицы
Документация и источники
- Карточка поставщика — SBC-12
- KYVAC: заводская страница SBC-12
- KYKY: экспортная комплектация SBC-12
- KYKY: отдельная экспортная иллюстрация SBC-12
Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-6900
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8100
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8200
- Магнетронная напылительная установка SBC-16
Технический каталог оборудования