EM-8000 — сканирующая электронная микроскопия KYKY. Изображения, технические параметры с условиями разрешения, детекторы, столик и различия исполнений.
Содержание карточки
Микроскопия и тонкие плёнки
EM8000 подтверждён в истории производителя. Современные EM8010 и EM8020 описаны отдельно; данные поставщика для прежнего обозначения приведены с оговорками.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип источника | Полевая электронная пушка с катодом Шоттки |
| Разрешение SE — поставщик | 1,5 нм при 15 кВ |
| Разрешение BSE — поставщик | 3 нм при 20 кВ; для старой редакции нужен паспорт |
| Увеличение — поставщик | 8–800 000× |
| Ускоряющее напряжение — поставщик | 0,2–30 кВ |
| Ток пучка — поставщик | 10 пА–0,3 мкА |
| Вакуумная система — поставщик | Ионный, турбомолекулярный и ротационный форвакуумный насосы |
| Детекторы — поставщик | Высоковакуумный SE; полупроводниковый четырёхсегментный BSE |
| Столик — поставщик | Пятиосевой эуцентрический моторизованный |
| Ходы X / Y / Z — поставщик | 0–80 / 0–50 / 0–30 мм |
| Вращение / наклон — поставщик | 0–360° / −5…+70° |
| Диаметр образца — поставщик | До 175 мм; оснастка и рабочая дистанция проверяются отдельно |
| Современные EM8010/8020 — разрешение | SE 1,5 нм при 15 кВ; BSE 3 нм при 30 кВ, BSE — опция |
| Современные EM8010/8020 — увеличение | 1–600 000×; оптическое 1–100×, для EM8010 опция |
| Современные EM8010/8020 — напряжение | 0,2–30 кВ |
Устройство, исполнение и условия применения
Модель EM8000 указана в заводской истории как разработка 2014 года. Первая часть таблицы отражает конфигурацию, опубликованную российским поставщиком под старым обозначением. Современная страница KYKY относится к EM8010/8020 и не является паспортом любого EM8000.
Для BSE поставщик EM8000 указывает 3 нм при 20 кВ, а заводская таблица EM8010/8020 — 3 нм при 30 кВ. Также различаются увеличения 8–800 000× и 1–600 000×. Эти значения не объединены в расширенный диапазон: строки современных исполнений выделены отдельно.
Фотографии поставщика с графическим знаком государственного реестра не использованы как подтверждение метрологического статуса. На основной фотографии видна маркировка EM8000, хотя файл находился на странице EM-8100. Это подтверждает надпись корпуса, но не его текущую комплектацию и не результаты приёмочных испытаний.
Оптическая навигация, EDS, EBSD, CL, нагревательный или криогенный столик и другие приставки выбираются отдельно. Число каналов и возможности анализа не выводятся из одной фотографии установки. Для модернизации ранее установленного EM8000 проверяют интерфейсы камеры, контроллер и версию ПО.
SE, BSE, EDS и EBSD решают разные задачи: изображение поверхности, контраст состава, элементный и кристаллографический анализ. Подбор выполняют по материалу, размеру образца и требуемому результату; вакуумное напыление и низковакуумный режим выбирают по условиям исследования. Статус утверждения типа и поверки по изображению или названию страницы не устанавливается.
Иллюстрации и исходные таблицы
Документация и источники
- Карточка поставщика — EM-8000
- KYKY: история модели EM8000, выпуск 2014 года
- KYKY: современная серия EM80 — исполнения EM8010 и EM8020
Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-6900
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8100
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8200
- Ионный напылитель для подготовки образцов SEM KYKY SBC-12
- Магнетронная напылительная установка SBC-16
Технический каталог оборудования