EM-8200 — сканирующая электронная микроскопия KYKY. Изображения, технические параметры с условиями разрешения, детекторы, столик и различия исполнений.
Содержание карточки
Микроскопия и тонкие плёнки
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип электронной пушки | Полевая эмиссия Шоттки |
| Разрешение SE | 0,8 нм при 15 кВ; 1,5 нм при 1 кВ |
| Увеличение | 1–3 000 000× |
| Оптическое увеличение навигации | 1–100× |
| Ускоряющее напряжение | 0,2–30 кВ |
| Столик | Пятиосевой автоматический большой столик |
| Детекторы | Высоковакуумный SE, четырёхсегментный полупроводниковый BSE, инфракрасная CCD, Inlens |
| Электронно-оптическая колонна — габариты | 1000×1000×1730 мм |
| Шкаф управления — габариты | 1330×850×740 мм |
| Дополнительные приставки | EDS, EBSD, STEM, CL, шлюз LoadLock, нагревательный, охлаждаемый или растягивающий столик; опции |
Устройство, исполнение и условия применения
Актуальная заводская EM8200 использует новую электронно-оптическую схему, торможение электронов у образца, малоаберрационный объектив и детектор Inlens. Для неё приведены две отдельные характеристики SE: 0,8 нм при 15 кВ и 1,5 нм при 1 кВ.
Поставщик описывает варианты EM-8200 Standard и Ultra с разрешением 1,0 нм без ускоряющего напряжения и увеличением до 1 000 000×. Эти строки не заменены догадкой на заводские значения и не объединены с ними. Для заказа под наименованием Standard/Ultra нужна спецификация именно этой редакции.
Заводская страница не подтверждает для данной версии ходы столика, максимальный размер образца, давление камеры и питание из общей таблицы Standard/Ultra. Поэтому они не выданы за универсальные характеристики EM8200. Габариты колонны и шкафа управления показаны отдельно.
Разрешение SE характеризует изображение вторичных электронов при названном ускоряющем напряжении. Оно не является разрешением EDS, точностью количественного элементного анализа или разрешением BSE. Увеличение изображения также не создаёт новых деталей сверх разрешающей способности системы.
Для рабочего места проверяют не только габариты колонны: нужны зоны обслуживания, условия по вибрации и магнитным полям, стабильность температуры, электропитание и инфраструктура выбранной вакуумной системы. Числа допустимых воздействий задаются монтажным руководством конкретного исполнения.
SE, BSE, EDS и EBSD решают разные задачи: изображение поверхности, контраст состава, элементный и кристаллографический анализ. Подбор выполняют по материалу, размеру образца и требуемому результату; вакуумное напыление и низковакуумный режим выбирают по условиям исследования. Статус утверждения типа и поверки по изображению или названию страницы не устанавливается.
Иллюстрации и исходные таблицы
Документация и источники
Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-6900
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8000
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8100
- Ионный напылитель для подготовки образцов SEM KYKY SBC-12
- Магнетронная напылительная установка SBC-16
Технический каталог оборудования