EM-8100 — сканирующая электронная микроскопия KYKY. Изображения, технические параметры с условиями разрешения, детекторы, столик и различия исполнений.
Содержание карточки
Микроскопия и тонкие плёнки
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип электронной пушки | Полевая эмиссия Шоттки |
| Разрешение SE | 0,9 нм при 30 кВ |
| Увеличение | 1–3 000 000× |
| Оптическое увеличение навигации | 1–100× |
| Ускоряющее напряжение | 0,2–30 кВ |
| Столик | Пятиосевой автоматический большой столик; сигнализация столкновения |
| Детекторы | Высоковакуумный SE, инфракрасная CCD, оптическая навигация; четырёхсегментный BSE — опция |
| Электронно-оптическая колонна — габариты | 1000×1000×1730 мм |
| Шкаф управления — габариты | 1330×850×740 мм |
| Дополнительные приставки | EDS, EBSD, STEM, CL, шлюз LoadLock, нагревательный, охлаждаемый или растягивающий столик; опции |
Устройство, исполнение и условия применения
Основная таблица взята с актуальной заводской страницы EM8100: разрешение SE 0,9 нм относится к 30 кВ. Наличие режима малого ускоряющего напряжения не означает сохранение 0,9 нм при любом напряжении.
В отдельной экспортной публикации EM8100F указаны SE 1 нм при 30 кВ и 3 нм при 1 кВ, BSE 2,5 нм при 30 кВ и увеличение 15–800 000×. На странице поставщика без суффикса F — увеличение 6–1 000 000×. Это разные наборы условий и редакций; F не отброшен из обозначения, а его параметры не перенесены в основную таблицу.
Ходы столика, допустимые размеры образца и конфигурация насосов различаются между экспортной EM81, EM8100F и страницей поставщика. Они требуют паспорта конкретной версии. В частности, максимальный размер образца 340 мм из прежней таблицы не выдан за подтверждённый параметр текущей EM8100.
Разрешение SE характеризует изображение вторичных электронов при названном ускоряющем напряжении. Оно не является разрешением EDS, точностью количественного элементного анализа или разрешением BSE. Увеличение изображения также не создаёт новых деталей сверх разрешающей способности системы.
Для рабочего места проверяют не только габариты колонны: нужны зоны обслуживания, условия по вибрации и магнитным полям, стабильность температуры, электропитание и инфраструктура выбранной вакуумной системы. Числа допустимых воздействий задаются монтажным руководством конкретного исполнения.
SE, BSE, EDS и EBSD решают разные задачи: изображение поверхности, контраст состава, элементный и кристаллографический анализ. Подбор выполняют по материалу, размеру образца и требуемому результату; вакуумное напыление и низковакуумный режим выбирают по условиям исследования. Статус утверждения типа и поверки по изображению или названию страницы не устанавливается.
Иллюстрации и исходные таблицы
Документация и источники
- Карточка поставщика — EM-8100
- KYKY: актуальная заводская страница EM-8100
- KYKY: экспортная публикация EM81 с расширенным перечнем параметров
- KYKY: отдельное экспортное исполнение EM8100F
Проверено 10 сентября 2026 года. Различия редакций, исполнений и условия измерений приведены в описании.
Связанное оборудование и материалы
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-6900
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8000
- Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-8200
- Ионный напылитель для подготовки образцов SEM KYKY SBC-12
- Магнетронная напылительная установка SBC-16
Технический каталог оборудования