Instrue PNP101 объединяет MEMS-датчик давления и канал Пирани для контроля вакуумных шлюзов в диапазоне 0,01–150 000 Па. Стандартный KF16, аналоговый сигнал и RS485 Modbus RTU.
Содержание карточки
Вакуумметры и датчики вакуума
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Принцип измерения | Комбинация MEMS-датчика давления и Пирани |
| Диапазон измерения по CN V3 | 0,01…150 000 Па |
| Точность MEMS: 3000…150 000 Па | ±2,5 % от показания |
| Точность Пирани: 1…3000 Па | ±15 % от показания |
| Точность Пирани: 0,01…1 Па | ±20 % от показания |
| Повторяемость | ±1 % полной шкалы |
| Максимальное абсолютное давление | 200 000 Па; допустимое воздействие, не измерительный диапазон |
| Время отклика | 100 мс |
| Рабочая температура и влажность | 0…+50 °C; 5–85 %, без конденсации |
| Цифровой интерфейс | RS485 без развязки, Modbus RTU, 9600 бод |
| Аналоговый сигнал | 0…10,3 В DC; характеристику преобразования проверяют по руководству |
| Дискретные выходы | Оптопара, твердотельный выход либо логический уровень — согласно исполнению |
| Питание | 16–30 В DC; в строке питания указан источник 0,5 А |
| Максимальная мощность | 1,5 Вт |
| Стандартное присоединение | DN16 ISO-KF |
| Масса с KF16 | 120 г |
| Материалы в контакте с вакуумом по CN V3 | SS304, SS316L, ковар, вольфрамовая нить, стекло |
| Электрический разъём | D-Sub 9 male либо D-Sub 15 VGA male, в зависимости от исполнения |
| Габариты показанного исполнения | Высота 58,5 мм, диаметр корпуса 40 мм; KF16 |
Устройство, исполнение и условия применения
MEMS-канал используется в области более высоких давлений, а Пирани расширяет измерение в сторону вакуума. Такое сочетание полезно для контроля вакуумных шлюзов и наблюдения цикла откачки. Газовая зависимость теплового канала учитывается при работе со средой, отличной от калибровочной.
Для PNP101 заводское руководство подтверждает нижнюю границу 0,01 Па. Ранее приведённые 10 Па и граница каналов 1000 Па заменены диапазонами непосредственно из CN V3. Руководство PNP102 относится к другой модели и не использовано для заполнения этой карточки.
В общей таблице указан перечень SS304, SS316L, ковара, вольфрама и стекла. Из него нельзя вывести материал именно мембраны MEMS-элемента: утверждение о мембране из 316L не подтверждено. Совместимость с агрессивной средой оценивают по паспорту конкретного исполнения.
CN V3 содержит схемы двух разных разъёмов: D-Sub 9 и D-Sub 15 VGA. Число доступных пороговых цепей и их электрическое исполнение проверяют по выбранному разъёму и паспорту. Эти схемы нельзя подключать взаимозаменяемым кабелем.
Аналоговый выход не описывается одной линейной зависимостью на весь диапазон. В строке нагрузки CN V3 указано 10 Ом без достаточного пояснения; безопасная нагрузка не выведена из этой строки. Для интеграции используют подтверждённую схему и передаточную характеристику.
Иллюстрации и размерный лист взяты из руководства именно PNP101. На них показан вариант с KF16 и D-Sub 9; другие варианты разъёма должны быть определены до изготовления кабеля.
Исходные материалы: PNP101 — заводское руководство CN V3 — стр. 1 PDF. Проверено 9 сентября 2026 года. Редакция и применимость источников, различия исполнений и документов пояснены в описании.
Контакты лаборатории: lab@techeiscatel.ru · +7 (812) 715-00-17.
Документация и связанные материалы
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 319 · Исходная техническая карточка 1. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
Вакуумметр Instrue PVC410 — Пирани и холодный катод, RJ45
Instrue PVC410 — комбинированный вакуумметр Пирани/Пеннинга для диапазона 10⁻⁵–10⁵ Па по воздуху и азоту. Стандартный фланец KF25; компактный преобразователь с RJ45.
Принцип измерения: Пирани + холодный катод Пеннинга
Диапазон измерения, воздух и азот: 10⁻⁵…10⁵ Па
Точность по EN V1: 10⁻⁵…10⁻⁴ Па: ±35 %
Вакуумметр Instrue WPC400 — Пирани и холодный катод, LED-дисплей
Instrue WPC400 — комбинированный вакуумметр Пирани/Пеннинга для диапазона 10⁻⁵–10⁵ Па по воздуху и азоту. Стандартный фланец KF25; локальная LED-индикация и два пороговых выхода.
Принцип измерения: Пирани + холодный катод Пеннинга
Диапазон измерения, воздух и азот: 10⁻⁵…10⁵ Па
Точность по EN V1: 10⁻⁵…10⁻⁴ Па: ±35 %
Вакуумметр Instrue WPH300 — Пирани и горячий катод
Instrue WPH300 объединяет датчики Пирани и горячего катода для измерения 10⁻⁵–10⁵ Па по воздуху и азоту. Стандартное присоединение KF25; выходы и уставки выбираются по полному коду исполнения.
Принцип измерения: Пирани + ионизационный канал с горячим катодом
Базовый код по CN V4: WPH300 A11: KF25, аналоговый выход, без уставок
Выбор интерфейса по заказному коду: 0–10 В; 4–20 мА; RS485; либо RS485 с одним из аналоговых выходов