Содержание материала
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1. Диапазоны полной шкалы: 1; 2; 10; 30; 100 или 1000 Торр; Температурное исполнение: 150 °C, 160 °C или 200 °C; Точность: 0,50 % от показания
Вакуумметры и датчики вакуума · CBVAC
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1. Раздел: Семейства ёмкостных вакуумметров.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны полной шкалы | 1; 2; 10; 30; 100 или 1000 Торр |
| Температурное исполнение | 150 °C, 160 °C или 200 °C |
| Точность | 0,50 % от показания |
| Разрешение | 0,01 % полной шкалы |
| Выходной сигнал | 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм |
| Релейные выходы | 2 опциональных порога, регулируемых в пределах 0,5-100 % полной шкалы |
| Время отклика | 50 мс |
| Питание | ±15 В пост. тока ±5 %, до 1,0 А |
| Вакуумные присоединения | VCR, NW16-KF или трубка 1/2 дюйма |
| Температурный дрейф нуля | 150 и 160 °C: 0,004 % полной шкалы/°C (> 1 Торр), 0,008 % (1 Торр); 200 °C: 0,008 % (> 1 Торр), 0,016 % (1 Торр) |
| Температурный коэффициент полной шкалы | 0,02 % от показания/°C |
| Рабочая температура окружающей среды | 15-50 °C |
| Время прогрева | 4 ч |
| Требуемая скорость воздуха вокруг корпуса | 150 и 160 °C: 0,25 м/с при окружающей температуре 45-50 °C; 200 °C: 0,76 м/с при 40-50 °C |
| Предельная перегрузка | 310 кПа |
| Объём чувствительной полости | 6,3 см³ |
Подбор и комплектация
Для MM1 проверяют диапазон, измеряемую среду, питание и интерфейс. Диапазоны и температурные исполнения выбирают по обозначению конкретного прибора; характеристики одного исполнения не распространяются на остальные. Требования к калибровке и метрологическому оформлению указывают в техническом задании.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 230 · Исходная техническая карточка 1 · Исходная техническая карточка 2. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Присоединение и место для установки
Размерный чертёж MM1 из каталога CBVAC позволяет сопоставить корпус прибора с доступным пространством и выбрать ответное соединение. Показанные присоединения являются вариантами исполнения одного прибора, а не комплектом переходников в поставке.
В каталоге отдельно приведены электрические варианты с реле и без реле. Их назначение контактов различается; распайку сверяют по варианту прибора.
При размещении оставьте доступ к электрическому разъёму и соединению с вакуумной линией. В запросе укажите полное обозначение прибора, выбранную шкалу давления, питание, выходной сигнал и присоединение. Если прибор заменяет существующий датчик, приложите маркировку и чертёж ответной части.
Чертёж ниже воспроизведён из оригинального документа. Для проверки мелких размеров откройте увеличенное изображение или исходную страницу PDF.
Источник: 真空规系列型号手册20251120 (2).pdf — PDF, с. 29. Открыть иллюстрацию крупнее.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение
MM1 выбирают по полной шкале, температурному исполнению, типу сигнала и вакуумному присоединению. Полная шкала — верхний предел конкретного исполнения, а не нижняя граница измерения. 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для выхода 0–10 В давление рассчитывают как p = U / 10 × Pполн, используя одинаковые единицы давления.
Точность в процентах от показания нельзя приравнивать к разрешению в процентах полной шкалы. Температура нагревателя и допустимая температура окружающей среды — разные параметры. До настройки нуля необходимо выдержать время прогрева выбранного исполнения. Совместимость мембраны с технологическим газом проверяют отдельно.
Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 27.
Калибровка и поверка вакуумметров
Сравнение серии, графики и условия применения
Оборудование и связанные материалы
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 · Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления · Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT · Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами · Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1 · Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Все вакуумные насосы · Вакуумметры и датчики · lab@techeiscatel.ru
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
CBVAC CM1 · 1000 Торр / 45 °C
Мембранно-ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 с верхним пределом 1000 Торр. Технические характеристики и подбор исполнения.
Изделие / исполнение: CBVAC CM1 · 1000 Торр / 45 °C
Подтверждённые сведения об исполнении: Мембранно-ёмкостной вакуумметр. Верхний предел 1000 Торр; термостабилизация 45 °C. Отдельное исполнение от CM1 на 10 Торр.
Санкт-Петербург: 1 шт. на 29.09.2026
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1
CBVAC CM1 — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для прямого измерения давления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления
CBVAC CM1E — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для процессов травления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм