CBVAC CM1E — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для процессов травления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Вакуумметры и датчики вакуума
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Принцип измерения | Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления |
| Сигнал давления | 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению |
| Сопротивление входа принимающего устройства | > 10 кОм |
| Электрический разъём | DB15 male |
| Температурные исполнения | 45 °C или 100 °C |
| Полные шкалы при 45 °C, Торр | 0,02; 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100 |
| Полные шкалы при 100 °C, Торр | 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100 |
| Точность при 45 °C | 0,12 % от показания при шкалах ≥ 1 Торр; 0,15 % при 0,05 / 0,1 / 0,25 Торр; 0,25 % при 0,02 Торр; неоднозначность 0,25 Торр пояснена ниже |
| Точность при 100 °C | 0,5 % от показания при полной шкале < 1 Торр; 0,25 % при ≥ 1 Торр |
| Разрешение | 0,001 % полной шкалы; при 0,02 и 0,05 Торр — 0,002 % |
| Питание нагреваемых исполнений | ±15 В DC ±5 % |
| Ток при 45 °C | 0,25 А |
| Ток при 100 °C | 0,6 А |
| Прогрев нагреваемого исполнения | 2 ч при полной шкале ≥ 1 Торр; 4 ч при < 1 Торр |
| Рабочая температура при 45 °C | +15…+40 °C |
| Рабочая температура при 100 °C | +15…+50 °C |
| Время отклика | < 20 мс |
| Объём чувствительной полости | 6,3 см³ |
| Предельная перегрузка | 310 кПа |
| Материал в контакте с вакуумом | Коррозионностойкий никелевый сплав |
| Ориентации по заказу | Стандартная при полной шкале > 1 Торр; горизонтальная; вертикальная |
| Варианты вакуумного порта | DN16 ISO-KF; DN25 ISO-KF; CF16; CF35; 8 VCR female; 8 VCO female; Трубка 1/2 дюйма |
Устройство, исполнение и условия применения
Ёмкостный датчик измеряет прогиб металлической мембраны под действием давления. В пределах совместимых сред принцип измерения не требует газовых поправок, характерных для тепловых и ионизационных датчиков. При этом химическую стойкость и защиту от загрязнений оценивают отдельно.
Перечисленные значения в Торр являются вариантами полной шкалы. Один прибор не переключается программно между всеми этими исполнениями. Доли от показания и доли от полной шкалы обозначены отдельно; разрешение не является погрешностью.
Полная шкала зависит от серии и нагрева. Предельная перегрузка 310 кПа не является диапазоном измерений; она исключена из числового фильтра давления каталога. Питание ±15 В означает два полюса питания относительно общего провода, а не любой однополярный источник 15 В.
Сигнал 0–10 В подключают ко входу с сопротивлением больше 10 кОм. Перед измерениями выдерживают предусмотренный прогрев и проверяют нулевую точку. Размеры, порт, ориентацию и распайку выбирают по полному заказному коду.
Изображение является иллюстрацией серии из технических материалов. На чертеже представлены варианты присоединений; конкретный порт и габаритная цепь определяются кодом исполнения.
В таблице точности для 45 °C есть пересечение: 0,25 Торр прямо перечислены в группе 0,15 %, но следующая строка 0,12 % обозначена как «> 0,1 Торр». В карточке для 0,25 Торр сохранено явно указанное 0,15 %; применимость более точного класса проверяют по полному коду и паспорту.
Для CM1E максимальная шкала в данной редакции — 100 Торр; 1000 Торр от CM1 сюда не перенесены. В строке порта встречается написание «8VOC», а таблица заказа прямо указывает 8 VCO female; использовано обозначение из таблицы заказа.
E-исполнение предназначено для процессов травления: конструкция снижает осаждение побочных продуктов и повреждение мембраны. Это не означает универсальную стойкость к любому газу или отсутствие обслуживания.
В карточке использован исходный файл технического руководства из комплекта CBVAC с маркировкой IMECAS на страницах. Таблицы переведены на русский язык; сохранены различия серий и заказных исполнений.
На размерном чертеже есть вариант 4 VCR female, которого нет в таблице заказа этой серии. Он не добавлен в перечень доступных присоединений: для заказа используется таблица кодов и паспорт конкретного исполнения.
Исходные материалы: Техническое руководство по вакуумметрам и реле давления, файл 20251120 — стр. 5 PDF · Емкостный мембранный вакуумметр CM1E. Проверено 9 сентября 2026 года. Редакция и применимость источников, различия исполнений и документов пояснены в описании.
Контакты лаборатории: lab@techeiscatel.ru · +7 (812) 715-00-17.
Документация и связанные материалы
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 230 · Исходная техническая карточка 1 · Исходная техническая карточка 2. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение
CM1E выбирают по полной шкале, температурному исполнению, типу сигнала и вакуумному присоединению. Полная шкала — верхний предел конкретного исполнения, а не нижняя граница измерения. 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для выхода 0–10 В давление рассчитывают как p = U / 10 × Pполн, используя одинаковые единицы давления.
Точность в процентах от показания нельзя приравнивать к разрешению в процентах полной шкалы. Температура нагревателя и допустимая температура окружающей среды — разные параметры. До настройки нуля необходимо выдержать время прогрева выбранного исполнения. Совместимость мембраны с технологическим газом проверяют отдельно.
Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 5.
Калибровка и поверка вакуумметров
Сравнение серии, графики и условия применения
Оборудование и связанные материалы
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 · Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления · Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT · Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами · Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1 · Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Все вакуумные насосы · Вакуумметры и датчики · lab@techeiscatel.ru
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1
CBVAC CM1 — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для прямого измерения давления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм
Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1
CBVAC DM1 — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для прямого измерения давления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм
Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления
CBVAC DM1E — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для процессов травления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм