Вакуумметры и датчики вакуума
Диапазон и принцип измерения выбирают по задаче. Тепловые и ионизационные датчики зависят от состава газа; при сравнении показаний учитывают калибровку и поправки изготовителя. Датчик, контроллер, кабель и интерфейс проверяют как комплект.
Что указать при подборе
- Нижняя и верхняя границы давления
- Состав газа и принцип измерения
- Требуемая точность и время отклика
- Фланец, контроллер и выходной сигнал
Написать по email · Выбрать инженерную задачу
Измерение давления в реальной вакуумной системе
Положение датчика и проводимость его присоединения влияют на то, насколько измеренное давление соответствует давлению в рабочем объёме. Тип преобразователя выбирают по диапазону давления, газовой среде и требованиям к метрологическому обеспечению.
Связанные материалы: Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP · Вакуумметрический течеискатель Ликлаб ВакуумТест · Калибровка и поверка вакуумметров
Оборудование CBVAC: технический выбор
Выберите серию, чтобы открыть сравнение моделей, графики и требования к эксплуатации.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение
Мембранно-ёмкостной вакуумметр измеряет прогиб чувствительной мембраны и преобразует его в сигнал давления. Полная шкала — верхний предел выбранного исполнения, а не нижняя граница измерения. Например, исполнение 0,02 Торр имеет полную шкалу около 2,666 Па; это не обещание измерять только от 0,02 Торр и выше.
| Серия | Основное отличие | Сигнал / связь |
|---|---|---|
| CM1 | Без нагрева, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| CM1E / DM1E | Исполнения для процессов травления | 0–10 В |
| DM1 | 45 или 100 °C, разъём DB9 | 0–10 В |
| HM1 | Два независимых релейных порога | 0–10 В и реле |
| FM1 | Цифровое подключение EtherCAT | EtherCAT и 0–10 В |
| EM1 | Компактный, без нагрева | 0–5 или 0–10 В |
| KM1 | Компактный, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| MM1 | Высокотемпературное исполнение | 0–10 В; реле по комплектации |
Пересчёт: 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для линейного выхода 0–10 В давление p = U / 10 × Pполн, где U — измеренное напряжение в вольтах, Pполн — полная шкала в выбранных единицах. Например, для шкалы 10 Торр и сигнала 2,5 В давление равно 2,5 Торр, или примерно 333,31 Па. Напряжение питания нельзя подставлять вместо выходного сигнала.
Точность в процентах от показания и разрешение в процентах полной шкалы описывают разные свойства. Температуру нагревателя датчика также отличают от допустимой температуры окружающей среды. Нагреваемый прибор устанавливают, выдерживают требуемое время прогрева и корректируют нуль по руководству. Для CM1 и DM1 время прогрева нагреваемого исполнения составляет 2 ч при полной шкале ≥ 1 Торр и 4 ч при меньшей шкале.
Выбор материала чувствительной мембраны не гарантирует совместимость со всеми технологическими газами. Для конденсирующихся сред проверяют температуру датчика и линии, монтажную ориентацию и защиту от частиц. Метрологические работы описаны на странице калибровки и поверки вакуумметров; применимость конкретной процедуры зависит от статуса и исполнения прибора.
Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 1 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 8 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 24 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 27.
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 · Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления · Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT · Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами · Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1 · Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Реле вакуума и давления: выбор уставки
Реле давления формирует дискретный сигнал при достижении порога. Оно решает задачу переключения или блокировки и не заменяет непрерывное измерение давления вакуумметром. В заказе фиксируют направление изменения давления, уставку, возврат, состояние контакта, присоединение и температурную зону.
| Серия | Диапазон задания | Особенность |
|---|---|---|
| APS48 | 20–150 Торр ≈ 2,67–20,00 кПа | Абсолютное давление |
| APS36 | 100–1000 Торр ≈ 13,33–133,32 кПа | Абсолютное давление |
| VS160 | 40–750 Торр по таблице заказа | Порог и возврат зависят от исполнения |
| PS150 | 6,9–206,8 кПа избыточного давления | Исходный диапазон 1–30 фунтов/кв. дюйм изб. |
| DC1 / DA1 / SC1 / SA1 | 5–100 % выбранной полной шкалы | Мембранно-ёмкостное реле, переключающий контакт |
В буклете VS160 есть расхождение: общая таблица на странице 4 указывает 40–635 Торр, таблица заказа на странице 5 — 40–750 Торр, а отдельное исполнение имеет порог 705–765 Торр. Поэтому рабочие пороги следует брать из строки полного кода исполнения, а не из общего названия VS160.
| Исполнение VS160 | Срабатывание, Торр | Возврат, Торр |
|---|---|---|
| VS160-DT75-A-VC-NOSC | 40–45 | 100–192 |
| VS160-IT735-A-VC-NOSC | 705–765 | 618–710 |
Для PS150 избыточное давление отсчитывают от атмосферного. Его нельзя непосредственно сравнивать с абсолютной шкалой APS. Для мембранно-ёмкостных реле DC1/DA1/SC1/SA1 предусмотрены полные шкалы 10, 30, 100, 500 и 1000 Торр, питание 10–30 В постоянного тока и переключающий контакт до 1 А при 30 В постоянного тока; конкретная коммутационная схема определяется исполнением.
Технические источники CBVAC: Каталог реле давления — PDF, с. 2 · Каталог реле давления — PDF, с. 4 · Каталог реле давления — PDF, с. 5 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 30.
Реле давления APS PS и VS · Вакуумное реле абсолютного давления APS36 · Вакуумное реле абсолютного давления APS48 · Вакуумное реле давления VS160 · Реле давления CBVAC DA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC DC1 · Реле давления CBVAC SA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC SC1 · Реле давления PS150
Найдено: 22 · Страница 1 из 1
CBVAC CM1 · 1000 Торр / 45 °C
Санкт-Петербург: 1 шт. (29.09.2026). Мембранно-ёмкостной вакуумметр. Верхний предел 1000 Торр; термостабилизация 45 °C. Отдельное исполнение от CM1 на 10 Торр.
Изделие / исполнение: CBVAC CM1 · 1000 Торр / 45 °C
Подтверждённые сведения об исполнении: Мембранно-ёмкостной вакуумметр. Верхний предел 1000 Торр; термостабилизация 45 °C. Отдельное исполнение от CM1 на 10 Торр.
Санкт-Петербург: 1 шт. на 29.09.2026
Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C
Санкт-Петербург: 2 шт. (28.09.2026). Мембранно-ёмкостной датчик: 10 Торр (≈13,33 мбар), термостабилизация 45 °C, выход 0–10 В, питание ±15 В. Погрешность ±0,12% от показания.
Заказной код: CM1 | 11 | A | V | A | S | L
Полная шкала, код 11: 10 Торр
Температурное исполнение, код A: 45 °C
AGP21 — ёмкостной плёночный вакуумметр
Погрешность: ±0,3 % от показания
Время отклика: не более 60 мс
Температурный коэффициент нуля: 0,01 % полной шкалы/°C
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1
CBVAC CM1 — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для прямого измерения давления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления
CBVAC CM1E — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для процессов травления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм
Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1
CBVAC DM1 — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для прямого измерения давления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм
Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления
CBVAC DM1E — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для процессов травления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм
Ёмкостной вакуумметр Instrue CMG500-11 — 1000 мбар, KF16
Instrue CMG500-11 — ёмкостной вакуумметр с полной шкалой 1000 мбар и присоединением KF16. Линейный выход 0–10 В и RS485; характеристики приведены по руководству для двухзначного кода CMG500-XX.
Обозначение исполнения: CMG500-11
Полная шкала: 1000 мбар
Вакуумное присоединение, вторая цифра кода 1: DN16 ISO-KF
Ёмкостной вакуумметр Instrue CMG500-21 — 100 мбар, KF16
Instrue CMG500-21 — ёмкостной вакуумметр с полной шкалой 100 мбар и присоединением KF16. Линейный выход 0–10 В и RS485; характеристики приведены по руководству для двухзначного кода CMG500-XX.
Обозначение исполнения: CMG500-21
Полная шкала: 100 мбар
Вакуумное присоединение, вторая цифра кода 1: DN16 ISO-KF
Ёмкостной вакуумметр Instrue CMG500-31 — 10 мбар, KF16
Instrue CMG500-31 — ёмкостной вакуумметр с полной шкалой 10 мбар и присоединением KF16. Линейный выход 0–10 В и RS485; характеристики приведены по руководству для двухзначного кода CMG500-XX.
Обозначение исполнения: CMG500-31
Полная шкала: 10 мбар
Вакуумное присоединение, вторая цифра кода 1: DN16 ISO-KF
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1
Диапазоны полной шкалы: 1; 2; 10; 30; 100 или 1000 Торр
Температурное исполнение: 150 °C, 160 °C или 200 °C
Точность: 0,50 % от показания
Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT
Диапазоны полной шкалы: 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 200; 500 или 1000 Торр
Температурное исполнение: Без нагрева, 45 °C, 80 °C или 100 °C
Точность: До 0,10 % от показания при 45 °C и диапазоне ≥ 1 Торр
Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами
Диапазоны полной шкалы: 0,1; 1; 10; 20; 50; 100; 500 или 1000 Торр
Температурное исполнение: Без нагрева, 45 °C или 100 °C
Точность: До 0,12 % от показания при 45 °C
Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1
Диапазоны полной шкалы: 1; 2; 10; 20; 30; 50; 100; 250; 500 или 1000 Торр
Точность: 0,5 % от показания
Выходной сигнал: 0-5 или 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм
Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Диапазоны полной шкалы: 1; 2; 10; 30; 50; 100; 200; 500 или 1000 Торр
Температурное исполнение: 45 °C или 100 °C
Точность: 0,5 % от показания; при 100 °C и диапазоне < 10 Торр - 1 %
Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP
Выбор принципа и полной шкалы определяет пригодность датчика для конкретной области давления.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC
Измерение абсолютного давления деформацией мембраны для регулирования вакуумных процессов.
Полная шкала без нагрева: 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 500; 1000 Торр
Полная шкала при 45 °C: 0,02; 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000 Торр
Полная шкала при 100 °C: 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000 Торр
KYKY KYM-240
KYKY KYM-240 — мембранно-ёмкостный преобразователь абсолютного давления. Упругая измерительная мембрана преобразует воздействие давления в изменение ёмкости; диапазон выбирают по обозначению исполнения.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, абсолютное давление
Диапазон исполнения 10T: 0,0133–133 Па
Диапазон исполнения 11T: 0,133–1330 Па
KYKY KYM-240-11T
KYKY KYM-240-11T — мембранно-ёмкостный преобразователь абсолютного давления. Упругая измерительная мембрана преобразует воздействие давления в изменение ёмкости; диапазон выбирают по обозначению исполнения. Для 11T он составляет 0,133–1330 Па.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, абсолютное давление
Диапазон измерения: 0,133–1330 Па
Питание: 14–30 В DC; пульсации Vpp ≤ 0,5 В
KYKY KYM-240-13T
KYKY KYM-240-13T — мембранно-ёмкостный преобразователь абсолютного давления. Упругая измерительная мембрана преобразует воздействие давления в изменение ёмкости; диапазон выбирают по обозначению исполнения. Для 13T он составляет 13,3–133 000 Па.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, абсолютное давление
Диапазон измерения: 13,3–133 000 Па
Питание: 14–30 В DC; пульсации Vpp ≤ 0,5 В
Мембранно-ёмкостный вакуумметр KYKY KYM-500J — 100 Torr
KYKY KYM-500J в исполнении 100 Torr — преобразователь абсолютного давления с металлической мембраной и ёмкостным измерительным элементом. В каталоге изготовителя для этого исполнения указан диапазон 1,33–13 300 Па.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, металлическая мембрана
Исполнение по полной шкале: 100 Torr
Диапазон измерения по каталогу: 1,33–13 300 Па
Мембранно-ёмкостный вакуумметр KYKY KYM-500J — 1000 Torr
KYKY KYM-500J в исполнении 1000 Torr — преобразователь абсолютного давления с металлической мембраной и ёмкостным измерительным элементом. В каталоге изготовителя для этого исполнения указан диапазон 13,3–133 000 Па.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, металлическая мембрана
Исполнение по полной шкале: 1000 Torr
Диапазон измерения по каталогу: 13,3–133 000 Па