Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT. Диапазоны полной шкалы: 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 200; 500 или 1000 Торр; Температурное исполнение: Без нагрева, 45 °C, 80 °C или 100 °C; Точность: До 0,10 % от показания при 45 °C и диапазоне ≥ 1 Торр
Содержание карточки
Вакуумметры и датчики вакуума · CBVAC
Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT. Раздел: Семейства ёмкостных вакуумметров.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны полной шкалы | 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 200; 500 или 1000 Торр |
| Температурное исполнение | Без нагрева, 45 °C, 80 °C или 100 °C |
| Точность | До 0,10 % от показания при 45 °C и диапазоне ≥ 1 Торр |
| Интерфейс | EtherCAT, 2 розетки RJ45 |
| Аналоговый выход | 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм |
| Время отклика | 3,3 мс |
| Питание | +24 В пост. тока ±10 % |
| Предельная перегрузка | 310 кПа |
| Вакуумные присоединения | NW16-KF, NW25-KF, CF16, VCR, VCO или трубка 1/2 дюйма |
| Время прогрева | 2 ч при полной шкале >= 1 Торр; 4 ч при полной шкале < 1 Торр |
| Температурный дрейф нуля | Без нагрева: 0,005-0,02 % полной шкалы/°C; 45 °C: 0,002-0,005 %; 80 и 100 °C: 0,002-0,01 %, в зависимости от диапазона |
| Температурный коэффициент полной шкалы | Без нагрева: 0,04 % от показания/°C; с нагревом: 0,02 % от показания/°C |
| Разрешение | 0,001 % полной шкалы |
| Рабочая температура окружающей среды | Без нагрева: 0-50 °C; 45 °C: 15-40 °C; 80 и 100 °C: 15-50 °C |
| Максимальный ток питания | 0,3 А без нагрева; 0,6 А при 45 °C; 0,8 А при 80 или 100 °C |
| Индикация состояния EtherCAT | Один многоцветный и два красно-зелёных светодиодных индикатора |
| Монтажная ориентация | Горизонтальная или вертикальная |
| Объём чувствительной полости | 6,3 см³ |
Подбор и комплектация
Для FM1 проверяют диапазон, измеряемую среду, питание и интерфейс. Диапазоны и температурные исполнения выбирают по обозначению конкретного прибора; характеристики одного исполнения не распространяются на остальные. Требования к калибровке и метрологическому оформлению указывают в техническом задании.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 230 · Исходная техническая карточка 1. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Учебная анимация · 48 секунд
Как измеряют давление в вакууме
Учебная анимация объясняет прямое и косвенное измерение давления в вакууме. Показаны деформация мембраны, теплообмен чувствительного элемента и ионизация газа. Разобраны выбор рабочего диапазона, зависимость от состава газа, установка датчика и интерпретация сигнала. Схемы помогают понимать показания вакуумметров; они не воспроизводят конкретную модель и не содержат результатов измерений.
Схема объясняет принцип работы. Конструкция и характеристики конкретного изделия приведены в таблицах этой страницы. Ролик без звука; пояснения даны на русском языке.
Текстовое пояснение к ролику
Давление измеряют разными способами Прямые методы используют механическое действие давления. Косвенные — свойства разреженного газа, связанные с его плотностью.
Мембрана преобразует давление в перемещение Перепад давления деформирует мембрану. Электрическая схема преобразует деформацию в измерительный сигнал.
Пирани измеряет теплообмен с газом Нагретый элемент отдаёт тепло газу. Его температура или мощность нагрева связаны с давлением и составом газа.
Ионизационный метод регистрирует ионы Электроны ионизируют молекулы газа. Измеренный ионный ток связан с давлением; чувствительность зависит от газа и конструкции датчика.
Выбирают диапазон и учитывают состав газа Один метод не охватывает все условия измерения. Для газозависимых датчиков применяют предусмотренную изготовителем калибровку или поправку.
Датчик измеряет давление в месте установки Проверяют единицы, диапазон и состояние датчика. Проводимость присоединения и поток газа могут создавать разность давлений между датчиком и камерой.
Присоединение и место для установки
Размерный чертёж FM1 из каталога CBVAC позволяет сопоставить корпус прибора с доступным пространством и выбрать ответное соединение. Показанные присоединения являются вариантами исполнения одного прибора, а не комплектом переходников в поставке.
На соседней части исходной страницы приведены сигналы DB15, включая выход давления, уставки и состояние нагрева. Кабель подбирают по этой схеме для FM1.
При размещении оставьте доступ к электрическому разъёму и соединению с вакуумной линией. В запросе укажите полное обозначение прибора, выбранную шкалу давления, питание, выходной сигнал и присоединение. Если прибор заменяет существующий датчик, приложите маркировку и чертёж ответной части.
Чертёж ниже воспроизведён из оригинального документа. Для проверки мелких размеров откройте увеличенное изображение или исходную страницу PDF.
Источник: 真空规系列型号手册20251120 (2).pdf — PDF, с. 26. Открыть иллюстрацию крупнее.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение
FM1 выбирают по полной шкале, температурному исполнению, типу сигнала и вакуумному присоединению. Полная шкала — верхний предел конкретного исполнения, а не нижняя граница измерения. 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для выхода 0–10 В давление рассчитывают как p = U / 10 × Pполн, используя одинаковые единицы давления.
Точность в процентах от показания нельзя приравнивать к разрешению в процентах полной шкалы. Температура нагревателя и допустимая температура окружающей среды — разные параметры. До настройки нуля необходимо выдержать время прогрева выбранного исполнения. Совместимость мембраны с технологическим газом проверяют отдельно.
Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 24.
Калибровка и поверка вакуумметров
Сравнение серии, графики и условия применения
Оборудование и связанные материалы
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 · Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления · Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами · Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1 · Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Все вакуумные насосы · Вакуумметры и датчики · lab@techeiscatel.ru
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
CBVAC CM1 · 1000 Торр / 45 °C
Мембранно-ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 с верхним пределом 1000 Торр. Технические характеристики и подбор исполнения.
Изделие / исполнение: CBVAC CM1 · 1000 Торр / 45 °C
Подтверждённые сведения об исполнении: Мембранно-ёмкостной вакуумметр. Верхний предел 1000 Торр; термостабилизация 45 °C. Отдельное исполнение от CM1 на 10 Торр.
Санкт-Петербург: 1 шт. на 29.09.2026
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1
CBVAC CM1 — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для прямого измерения давления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления
CBVAC CM1E — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для процессов травления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм