Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1. Диапазоны полной шкалы: 1; 2; 10; 20; 30; 50; 100; 250; 500 или 1000 Торр; Точность: 0,5 % от показания; Выходной сигнал: 0-5 или 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм
Вакуумметры и датчики вакуума · CBVAC
Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1. Раздел: Семейства ёмкостных вакуумметров.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазоны полной шкалы | 1; 2; 10; 20; 30; 50; 100; 250; 500 или 1000 Торр |
| Точность | 0,5 % от показания |
| Выходной сигнал | 0-5 или 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм |
| Питание | +13-32 В пост. тока |
| Время отклика | < 20 мс |
| Рабочая температура | 0-50 °C; для диапазонов 1 и 2 Торр - 15-40 °C |
| Предельная перегрузка | 310 кПа |
| Допустимый импульс давления | 690 кПа |
| Вакуумные присоединения | VCR, NW16-KF, NW25-KF или трубка 1/2 дюйма |
| Температурный дрейф нуля | 0,008 % полной шкалы/°C при диапазоне >= 10 Торр; 0,02 % при 1 и 2 Торр |
| Температурный коэффициент полной шкалы | 0,04 % от показания/°C |
| Сигнальные интерфейсы | DB9, компактный DB15, DB15 с кабелем 1 м, 4-контактный авиационный разъём или 5-контактная клеммная колодка |
| Варианты механического присоединения | 4 VCR с внутренней или наружной резьбой, 8 VCR, NW16-KF, NW25-KF, поворотный CF16 или трубка 1/2 дюйма |
Подбор и комплектация
Для EM1 проверяют диапазон, измеряемую среду, питание и интерфейс. Диапазоны и температурные исполнения выбирают по обозначению конкретного прибора; характеристики одного исполнения не распространяются на остальные. Требования к калибровке и метрологическому оформлению указывают в техническом задании.
Документация и происхождение данных
Источники: Каталог Ликлаб 2026, стр. 230 · Исходная техническая карточка 1 · Исходная техническая карточка 2. Данные относятся к указанному исполнению и условиям измерения.
Присоединение и место для установки
Размерный чертёж EM1 из каталога CBVAC позволяет сопоставить корпус прибора с доступным пространством и выбрать ответное соединение. Показанные присоединения являются вариантами исполнения одного прибора, а не комплектом переходников в поставке.
Каталог предусматривает разные электрические соединения: DB9, DB15 и пятиконтактную клеммную колодку. Назначение контактов сверяют для конкретного разъёма.
При размещении оставьте доступ к электрическому разъёму и соединению с вакуумной линией. В запросе укажите полное обозначение прибора, выбранную шкалу давления, питание, выходной сигнал и присоединение. Если прибор заменяет существующий датчик, приложите маркировку и чертёж ответной части.
Чертёж ниже воспроизведён из оригинального документа. Для проверки мелких размеров откройте увеличенное изображение или исходную страницу PDF.
Источник: 真空规系列型号手册20251120 (2).pdf — PDF, с. 20. Открыть иллюстрацию крупнее.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение
EM1 выбирают по полной шкале, температурному исполнению, типу сигнала и вакуумному присоединению. Полная шкала — верхний предел конкретного исполнения, а не нижняя граница измерения. 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для выхода 0–10 В давление рассчитывают как p = U / 10 × Pполн, используя одинаковые единицы давления.
Точность в процентах от показания нельзя приравнивать к разрешению в процентах полной шкалы. Температура нагревателя и допустимая температура окружающей среды — разные параметры. До настройки нуля необходимо выдержать время прогрева выбранного исполнения. Совместимость мембраны с технологическим газом проверяют отдельно.
Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 18.
Калибровка и поверка вакуумметров
Сравнение серии, графики и условия применения
Оборудование и связанные материалы
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 · Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления · Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT · Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами · Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Все вакуумные насосы · Вакуумметры и датчики · lab@techeiscatel.ru
Связанное оборудование
Другие варианты того же типа. Диапазон, присоединение и условия применения проверяйте по характеристикам каждой модели.
CBVAC CM1 · 1000 Торр / 45 °C
Мембранно-ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 с верхним пределом 1000 Торр. Технические характеристики и подбор исполнения.
Изделие / исполнение: CBVAC CM1 · 1000 Торр / 45 °C
Подтверждённые сведения об исполнении: Мембранно-ёмкостной вакуумметр. Верхний предел 1000 Торр; термостабилизация 45 °C. Отдельное исполнение от CM1 на 10 Торр.
Санкт-Петербург: 1 шт. на 29.09.2026
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1
CBVAC CM1 — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для прямого измерения давления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм
Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления
CBVAC CM1E — серия ёмкостных мембранных вакуумметров для процессов травления с выходом 0–10 В. Полная шкала, нагрев и присоединение определяются заказным исполнением.
Принцип измерения: Ёмкостной мембранный, прямое измерение давления
Сигнал давления: 0–10 В DC, линейно пропорционально давлению
Сопротивление входа принимающего устройства: > 10 кОм