Вакуумметры и датчики вакуума
Диапазон и принцип измерения выбирают по задаче. Тепловые и ионизационные датчики зависят от состава газа; при сравнении показаний учитывают калибровку и поправки изготовителя. Датчик, контроллер, кабель и интерфейс проверяют как комплект.
Что указать при подборе
- Нижняя и верхняя границы давления
- Состав газа и принцип измерения
- Требуемая точность и время отклика
- Фланец, контроллер и выходной сигнал
Написать по email · Выбрать инженерную задачу
Измерение давления в реальной вакуумной системе
Положение датчика и проводимость его присоединения влияют на то, насколько измеренное давление соответствует давлению в рабочем объёме. Тип преобразователя выбирают по диапазону давления, газовой среде и требованиям к метрологическому обеспечению.
Связанные материалы: Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP · Вакуумметрический течеискатель Ликлаб ВакуумТест · Калибровка и поверка вакуумметров
Оборудование CBVAC: технический выбор
Выберите серию, чтобы открыть сравнение моделей, графики и требования к эксплуатации.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение
Мембранно-ёмкостной вакуумметр измеряет прогиб чувствительной мембраны и преобразует его в сигнал давления. Полная шкала — верхний предел выбранного исполнения, а не нижняя граница измерения. Например, исполнение 0,02 Торр имеет полную шкалу около 2,666 Па; это не обещание измерять только от 0,02 Торр и выше.
| Серия | Основное отличие | Сигнал / связь |
|---|---|---|
| CM1 | Без нагрева, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| CM1E / DM1E | Исполнения для процессов травления | 0–10 В |
| DM1 | 45 или 100 °C, разъём DB9 | 0–10 В |
| HM1 | Два независимых релейных порога | 0–10 В и реле |
| FM1 | Цифровое подключение EtherCAT | EtherCAT и 0–10 В |
| EM1 | Компактный, без нагрева | 0–5 или 0–10 В |
| KM1 | Компактный, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| MM1 | Высокотемпературное исполнение | 0–10 В; реле по комплектации |
Пересчёт: 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для линейного выхода 0–10 В давление p = U / 10 × Pполн, где U — измеренное напряжение в вольтах, Pполн — полная шкала в выбранных единицах. Например, для шкалы 10 Торр и сигнала 2,5 В давление равно 2,5 Торр, или примерно 333,31 Па. Напряжение питания нельзя подставлять вместо выходного сигнала.
Точность в процентах от показания и разрешение в процентах полной шкалы описывают разные свойства. Температуру нагревателя датчика также отличают от допустимой температуры окружающей среды. Нагреваемый прибор устанавливают, выдерживают требуемое время прогрева и корректируют нуль по руководству. Для CM1 и DM1 время прогрева нагреваемого исполнения составляет 2 ч при полной шкале ≥ 1 Торр и 4 ч при меньшей шкале.
Выбор материала чувствительной мембраны не гарантирует совместимость со всеми технологическими газами. Для конденсирующихся сред проверяют температуру датчика и линии, монтажную ориентацию и защиту от частиц. Метрологические работы описаны на странице калибровки и поверки вакуумметров; применимость конкретной процедуры зависит от статуса и исполнения прибора.
Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 1 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 8 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 24 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 27.
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 · Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления · Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT · Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами · Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1 · Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Реле вакуума и давления: выбор уставки
Реле давления формирует дискретный сигнал при достижении порога. Оно решает задачу переключения или блокировки и не заменяет непрерывное измерение давления вакуумметром. В заказе фиксируют направление изменения давления, уставку, возврат, состояние контакта, присоединение и температурную зону.
| Серия | Диапазон задания | Особенность |
|---|---|---|
| APS48 | 20–150 Торр ≈ 2,67–20,00 кПа | Абсолютное давление |
| APS36 | 100–1000 Торр ≈ 13,33–133,32 кПа | Абсолютное давление |
| VS160 | 40–750 Торр по таблице заказа | Порог и возврат зависят от исполнения |
| PS150 | 6,9–206,8 кПа избыточного давления | Исходный диапазон 1–30 фунтов/кв. дюйм изб. |
| DC1 / DA1 / SC1 / SA1 | 5–100 % выбранной полной шкалы | Мембранно-ёмкостное реле, переключающий контакт |
В буклете VS160 есть расхождение: общая таблица на странице 4 указывает 40–635 Торр, таблица заказа на странице 5 — 40–750 Торр, а отдельное исполнение имеет порог 705–765 Торр. Поэтому рабочие пороги следует брать из строки полного кода исполнения, а не из общего названия VS160.
| Исполнение VS160 | Срабатывание, Торр | Возврат, Торр |
|---|---|---|
| VS160-DT75-A-VC-NOSC | 40–45 | 100–192 |
| VS160-IT735-A-VC-NOSC | 705–765 | 618–710 |
Для PS150 избыточное давление отсчитывают от атмосферного. Его нельзя непосредственно сравнивать с абсолютной шкалой APS. Для мембранно-ёмкостных реле DC1/DA1/SC1/SA1 предусмотрены полные шкалы 10, 30, 100, 500 и 1000 Торр, питание 10–30 В постоянного тока и переключающий контакт до 1 А при 30 В постоянного тока; конкретная коммутационная схема определяется исполнением.
Технические источники CBVAC: Каталог реле давления — PDF, с. 2 · Каталог реле давления — PDF, с. 4 · Каталог реле давления — PDF, с. 5 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 30.
Реле давления APS PS и VS · Вакуумное реле абсолютного давления APS36 · Вакуумное реле абсолютного давления APS48 · Вакуумное реле давления VS160 · Реле давления CBVAC DA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC DC1 · Реле давления CBVAC SA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC SC1 · Реле давления PS150
Найдено: 6 · Страница 1 из 1
Вакуумметр Пирани LeakLab-AGP-3100
Санкт-Петербург: 30 шт.. Пирани: 1–100 000 Па для воздуха и азота.
Принцип измерения: Пирани, измерение по теплопроводности газа
Абсолютное давление: 1–100 000 Па
Рабочая среда: Воздух и азот
AGP3000
Диапазон абсолютного давления: 0,05 Па…120 кПа
Питание: 9-28 В пост. тока
Выходы: RS-485 и 0-10 В пост. тока
Вакуумметр Instrue WPI200 — Пирани с LED-дисплеем
Instrue WPI200 — вакуумметр Пирани с локальным LED-дисплеем для диапазона 0,1–100 000 Па в базовом исполнении CN V4. KF16; интерфейсы, уставки и беспроводная связь зависят от заказного кода.
Диапазон по таблице CN V4, воздух и азот: 0,1…100 000 Па
Точность: 0,1…10 000 Па: ±15 %
Точность: 10 000…100 000 Па: ±50 %
Преобразователь Instrue PON100 — датчик Пирани, KF16
Instrue PON100 — компактный преобразователь Пирани без дисплея, с присоединением KF16. По CN V2 диапазон составляет 0,1–100 000 Па; предусмотрены аналоговый сигнал и RS485.
Принцип измерения: Пирани
Диапазон по CN V2, воздух и азот: 0,1…100 000 Па
Точность: 0,1…10 000 Па: ±15 %
KYKY KYP-101
KYKY KYP-101 — компактный преобразователь Пирани для измерения давления в форвакуумных линиях и вакуумных установках. Датчик использует температурную компенсацию; измерительный узел допускает замену.
Принцип измерения: Пирани
Полный диапазон измерения: 10⁻²–10⁵ Па
Эффективный диапазон: 0,5–3000 Па
Вакуумный преобразователь Пирани KYKY KYP-200
KYKY KYP-200 — компактный преобразователь вакуумного давления на основе MEMS-датчика Пирани. Предназначен для контроля откачки от атмосферного давления до 10⁻² Па; имеет аналоговый выход и RS485.
Принцип измерения: MEMS Пирани, встроенное измерение температуры
Диапазон измерения: 10⁻²–10⁵ Па
Заявленная погрешность при 10⁴–10⁵ Па: ± 10 %