Вакуумметры и датчики вакуума — Страница 2
Диапазон и принцип измерения выбирают по задаче. Тепловые и ионизационные датчики зависят от состава газа; при сравнении показаний учитывают калибровку и поправки изготовителя. Датчик, контроллер, кабель и интерфейс проверяют как комплект.
Что указать при подборе
- Нижняя и верхняя границы давления
- Состав газа и принцип измерения
- Требуемая точность и время отклика
- Фланец, контроллер и выходной сигнал
Написать по email · Выбрать инженерную задачу
Измерение давления в реальной вакуумной системе
Положение датчика и проводимость его присоединения влияют на то, насколько измеренное давление соответствует давлению в рабочем объёме. Тип преобразователя выбирают по диапазону давления, газовой среде и требованиям к метрологическому обеспечению.
Связанные материалы: Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP · Вакуумметрический течеискатель Ликлаб ВакуумТест · Калибровка и поверка вакуумметров
Оборудование CBVAC: технический выбор
Выберите серию, чтобы открыть сравнение моделей, графики и требования к эксплуатации.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение
Мембранно-ёмкостной вакуумметр измеряет прогиб чувствительной мембраны и преобразует его в сигнал давления. Полная шкала — верхний предел выбранного исполнения, а не нижняя граница измерения. Например, исполнение 0,02 Торр имеет полную шкалу около 2,666 Па; это не обещание измерять только от 0,02 Торр и выше.
| Серия | Основное отличие | Сигнал / связь |
|---|---|---|
| CM1 | Без нагрева, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| CM1E / DM1E | Исполнения для процессов травления | 0–10 В |
| DM1 | 45 или 100 °C, разъём DB9 | 0–10 В |
| HM1 | Два независимых релейных порога | 0–10 В и реле |
| FM1 | Цифровое подключение EtherCAT | EtherCAT и 0–10 В |
| EM1 | Компактный, без нагрева | 0–5 или 0–10 В |
| KM1 | Компактный, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| MM1 | Высокотемпературное исполнение | 0–10 В; реле по комплектации |
Пересчёт: 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для линейного выхода 0–10 В давление p = U / 10 × Pполн, где U — измеренное напряжение в вольтах, Pполн — полная шкала в выбранных единицах. Например, для шкалы 10 Торр и сигнала 2,5 В давление равно 2,5 Торр, или примерно 333,31 Па. Напряжение питания нельзя подставлять вместо выходного сигнала.
Точность в процентах от показания и разрешение в процентах полной шкалы описывают разные свойства. Температуру нагревателя датчика также отличают от допустимой температуры окружающей среды. Нагреваемый прибор устанавливают, выдерживают требуемое время прогрева и корректируют нуль по руководству. Для CM1 и DM1 время прогрева нагреваемого исполнения составляет 2 ч при полной шкале ≥ 1 Торр и 4 ч при меньшей шкале.
Выбор материала чувствительной мембраны не гарантирует совместимость со всеми технологическими газами. Для конденсирующихся сред проверяют температуру датчика и линии, монтажную ориентацию и защиту от частиц. Метрологические работы описаны на странице калибровки и поверки вакуумметров; применимость конкретной процедуры зависит от статуса и исполнения прибора.
Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 1 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 8 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 24 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 27.
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 · Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления · Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT · Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами · Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1 · Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Реле вакуума и давления: выбор уставки
Реле давления формирует дискретный сигнал при достижении порога. Оно решает задачу переключения или блокировки и не заменяет непрерывное измерение давления вакуумметром. В заказе фиксируют направление изменения давления, уставку, возврат, состояние контакта, присоединение и температурную зону.
| Серия | Диапазон задания | Особенность |
|---|---|---|
| APS48 | 20–150 Торр ≈ 2,67–20,00 кПа | Абсолютное давление |
| APS36 | 100–1000 Торр ≈ 13,33–133,32 кПа | Абсолютное давление |
| VS160 | 40–750 Торр по таблице заказа | Порог и возврат зависят от исполнения |
| PS150 | 6,9–206,8 кПа избыточного давления | Исходный диапазон 1–30 фунтов/кв. дюйм изб. |
| DC1 / DA1 / SC1 / SA1 | 5–100 % выбранной полной шкалы | Мембранно-ёмкостное реле, переключающий контакт |
В буклете VS160 есть расхождение: общая таблица на странице 4 указывает 40–635 Торр, таблица заказа на странице 5 — 40–750 Торр, а отдельное исполнение имеет порог 705–765 Торр. Поэтому рабочие пороги следует брать из строки полного кода исполнения, а не из общего названия VS160.
| Исполнение VS160 | Срабатывание, Торр | Возврат, Торр |
|---|---|---|
| VS160-DT75-A-VC-NOSC | 40–45 | 100–192 |
| VS160-IT735-A-VC-NOSC | 705–765 | 618–710 |
Для PS150 избыточное давление отсчитывают от атмосферного. Его нельзя непосредственно сравнивать с абсолютной шкалой APS. Для мембранно-ёмкостных реле DC1/DA1/SC1/SA1 предусмотрены полные шкалы 10, 30, 100, 500 и 1000 Торр, питание 10–30 В постоянного тока и переключающий контакт до 1 А при 30 В постоянного тока; конкретная коммутационная схема определяется исполнением.
Технические источники CBVAC: Каталог реле давления — PDF, с. 2 · Каталог реле давления — PDF, с. 4 · Каталог реле давления — PDF, с. 5 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 30.
Реле давления APS PS и VS · Вакуумное реле абсолютного давления APS36 · Вакуумное реле абсолютного давления APS48 · Вакуумное реле давления VS160 · Реле давления CBVAC DA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC DC1 · Реле давления CBVAC SA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC SC1 · Реле давления PS150
Найдено: 36 · Страница 2 из 2
Вакуумметр KYKY ZDR-27/0B6
KYKY ZDR-27/0B6 — вакуумметр для работы с датчиками ZJ-27. Прибор отображает давление и предоставляет выходы управления вакуумной системой. Диапазон измерения: 10⁻⁵–10⁻¹ Па.
Диапазон измерения: 10⁻⁵–10⁻¹ Па
Подключаемые датчики: ZJ-27
Измерительные каналы: 1
Вакуумметр KYKY ZDZ-52T/0B7
KYKY ZDZ-52T/0B7 — вакуумметр для работы с датчиками ZJ-52T. Прибор отображает давление и предоставляет выходы управления вакуумной системой. Диапазон измерения: 10⁻¹–10⁵ Па.
Диапазон измерения: 10⁻¹–10⁵ Па
Подключаемые датчики: ZJ-52T
Измерительные каналы: 1
Вакуумметр МИДА с KF25 и RS-485 — складское исполнение
Санкт-Петербург: 1 шт. Измерение абсолютного давления.
Изделие / исполнение: Вакуумметр MIDA · KF25 / RS‑485
Обозначения присоединений: KF25
Подтверждённые сведения об исполнении: Измерение абсолютного давления. Фланец KF25, интерфейс RS‑485, с поверкой. Диапазон и точное исполнение подтверждаем по паспорту.
Вакуумметр Мерадат-ВИТ12Т6 (2Р/1А/RS-485/4М)
Мерадат-ВИТ12Т6 — тепловой вакуумметр с двумя реле, токовым выходом, RS-485 и архивом 4 МБ. Диапазон зависит от выбранных датчиков.
Назначение: Измерение давления сухого воздуха и азота
Измерительные входы: 1 тепловой
Поддерживаемые тепловые датчики: ПМТ-2, ПМТ-4М, СК-ТП4, СК-ТС6 (СК-ТС6/К/25)
Вакуумметр Мерадат-ВИТ19ИТ2 (4Р/1А/RS-485/4М)
Мерадат-ВИТ19ИТ2 — ионизационно-тепловой вакуумметр с четырьмя реле и графическим дисплеем, токовым выходом, RS-485 и архивом 4 МБ. Диапазон зависит от выбранных датчиков.
Назначение: Измерение давления сухого воздуха и азота
Измерительные входы: 1 тепловой и 1 ионизационный
Поддерживаемые тепловые датчики: ПМТ-2, ПМТ-4М, СК-ТП4, СК-ТС6, ПМТ-6-3М-1 (ПМТ-6-3)
Вакуумметр Пирани LeakLab-AGP-3100
Санкт-Петербург: 30 шт. Пирани: 1–100 000 Па для воздуха и азота.
Принцип измерения: Пирани, измерение по теплопроводности газа
Абсолютное давление: 1–100 000 Па
Рабочая среда: Воздух и азот
Вакуумный преобразователь Пирани KYKY KYP-200
KYKY KYP-200 — компактный преобразователь вакуумного давления на основе MEMS-датчика Пирани. Предназначен для контроля откачки от атмосферного давления до 10⁻² Па; имеет аналоговый выход и RS485.
Принцип измерения: MEMS Пирани, встроенное измерение температуры
Диапазон измерения: 10⁻²–10⁵ Па
Заявленная погрешность при 10⁴–10⁵ Па: ± 10 %
Ионизационный вакуумметр KYKY ZDR-121-A1
KYKY ZDR-121-A1 — электронный вакуумметр для датчика ZJ-12: 10⁻¹–6×10⁻⁸ Па, RS-232 или RS-485, внешний вход PLC. Фото, параметры и условия применения.
Модель электронного блока: ZDR-121-A1
Принцип измерения: Ионизационный, с нагреваемым катодом
Измерительные каналы: 1
Комбинированный вакуумметр KYKY KYF-181SL с дисплеем
KYKY KYF-181SL — комбинированный преобразователь Пирани и холоднокатодной ионизации. Исполнение SL имеет встроенный дисплей и RS485; заявленный диапазон измерения составляет 5 × 10⁻⁴–10⁵ Па.
Принцип измерения: Пирани и ионизация с холодным катодом
Исполнение: SL: встроенный дисплей и RS485
Диапазон измерения: 5 × 10⁻⁴–10⁵ Па
Контроллер Instrue WGC150 — до четырёх вакуумметров, TFT-дисплей
Instrue WGC150 — панельный контроллер для отображения показаний до четырёх вакуумметров. Цветной TFT 3,5 дюйма; до четырёх уставок и двух аналоговых выходов в соответствующей комплектации.
Число измерительных каналов: До четырёх вакуумметров
Дисплей: Цветной TFT LCD, 3,5 дюйма, 320 × 240 пикселей; до четырёх строк показаний
Органы управления: Четыре мембранные кнопки
Преобразователь Instrue PON100 — датчик Пирани, KF16
Instrue PON100 — компактный преобразователь Пирани без дисплея, с присоединением KF16. По CN V2 диапазон составляет 0,1–100 000 Па; предусмотрены аналоговый сигнал и RS485.
Принцип измерения: Пирани
Диапазон по CN V2, воздух и азот: 0,1…100 000 Па
Точность: 0,1…10 000 Па: ±15 %
Широкодиапазонный вакуумметр LeakLab AGP 4000
Санкт-Петербург: 8 шт. Широкодиапазонный вакуумметр: Пирани и холодный катод.
Измеряемая величина: Абсолютное давление воздуха и азота
Диапазон измерений: 1 × 10⁻⁶…1 × 10⁵ Па
Принцип действия: Пирани + холодный катод