Вакуумметры и датчики вакуума

Диапазон и принцип измерения выбирают по задаче. Тепловые и ионизационные датчики зависят от состава газа; при сравнении показаний учитывают калибровку и поправки изготовителя. Датчик, контроллер, кабель и интерфейс проверяют как комплект.

Что указать при подборе

Нижняя и верхняя границы давления
Состав газа и принцип измерения
Требуемая точность и время отклика
Фланец, контроллер и выходной сигнал

Написать по email · Выбрать инженерную задачу

Измерение давления в реальной вакуумной системе

Положение датчика и проводимость его присоединения влияют на то, насколько измеренное давление соответствует давлению в рабочем объёме. Тип преобразователя выбирают по диапазону давления, газовой среде и требованиям к метрологическому обеспечению.

Вакуумметр Instrue WPCX400: маркировка конкретного прибора на фотографии.

Измерительные преобразователи, установленные на вакуумной сборке.

Связанные материалы: Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP · Вакуумметрический течеискатель Ликлаб ВакуумТест · Калибровка и поверка вакуумметров

Оборудование CBVAC: технический выбор

Выберите серию, чтобы открыть сравнение моделей, графики и требования к эксплуатации.

Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение

Мембранно-ёмкостной вакуумметр измеряет прогиб чувствительной мембраны и преобразует его в сигнал давления. Полная шкала — верхний предел выбранного исполнения, а не нижняя граница измерения. Например, исполнение 0,02 Торр имеет полную шкалу около 2,666 Па; это не обещание измерять только от 0,02 Торр и выше.

Серия	Основное отличие	Сигнал / связь
CM1	Без нагрева, 45 или 100 °C	0–10 В
CM1E / DM1E	Исполнения для процессов травления	0–10 В
DM1	45 или 100 °C, разъём DB9	0–10 В
HM1	Два независимых релейных порога	0–10 В и реле
FM1	Цифровое подключение EtherCAT	EtherCAT и 0–10 В
EM1	Компактный, без нагрева	0–5 или 0–10 В
KM1	Компактный, 45 или 100 °C	0–10 В
MM1	Высокотемпературное исполнение	0–10 В; реле по комплектации

Пересчёт полной шкалы вакуумметра. Сравнение табличных значений.

Пересчёт: 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для линейного выхода 0–10 В давление p = U / 10 × Pполн, где U — измеренное напряжение в вольтах, Pполн — полная шкала в выбранных единицах. Например, для шкалы 10 Торр и сигнала 2,5 В давление равно 2,5 Торр, или примерно 333,31 Па. Напряжение питания нельзя подставлять вместо выходного сигнала.

Точность в процентах от показания и разрешение в процентах полной шкалы описывают разные свойства. Температуру нагревателя датчика также отличают от допустимой температуры окружающей среды. Нагреваемый прибор устанавливают, выдерживают требуемое время прогрева и корректируют нуль по руководству. Для CM1 и DM1 время прогрева нагреваемого исполнения составляет 2 ч при полной шкале ≥ 1 Торр и 4 ч при меньшей шкале.

Выбор материала чувствительной мембраны не гарантирует совместимость со всеми технологическими газами. Для конденсирующихся сред проверяют температуру датчика и линии, монтажную ориентацию и защиту от частиц. Метрологические работы описаны на странице калибровки и поверки вакуумметров; применимость конкретной процедуры зависит от статуса и исполнения прибора.

Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 1 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 8 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 24 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 27.

Реле вакуума и давления: выбор уставки

Реле давления формирует дискретный сигнал при достижении порога. Оно решает задачу переключения или блокировки и не заменяет непрерывное измерение давления вакуумметром. В заказе фиксируют направление изменения давления, уставку, возврат, состояние контакта, присоединение и температурную зону.

Серия	Диапазон задания	Особенность
APS48	20–150 Торр ≈ 2,67–20,00 кПа	Абсолютное давление
APS36	100–1000 Торр ≈ 13,33–133,32 кПа	Абсолютное давление
VS160	40–750 Торр по таблице заказа	Порог и возврат зависят от исполнения
PS150	6,9–206,8 кПа избыточного давления	Исходный диапазон 1–30 фунтов/кв. дюйм изб.
DC1 / DA1 / SC1 / SA1	5–100 % выбранной полной шкалы	Мембранно-ёмкостное реле, переключающий контакт

В буклете VS160 есть расхождение: общая таблица на странице 4 указывает 40–635 Торр, таблица заказа на странице 5 — 40–750 Торр, а отдельное исполнение имеет порог 705–765 Торр. Поэтому рабочие пороги следует брать из строки полного кода исполнения, а не из общего названия VS160.

Исполнение VS160	Срабатывание, Торр	Возврат, Торр
VS160-DT75-A-VC-NOSC	40–45	100–192
VS160-IT735-A-VC-NOSC	705–765	618–710

Для PS150 избыточное давление отсчитывают от атмосферного. Его нельзя непосредственно сравнивать с абсолютной шкалой APS. Для мембранно-ёмкостных реле DC1/DA1/SC1/SA1 предусмотрены полные шкалы 10, 30, 100, 500 и 1000 Торр, питание 10–30 В постоянного тока и переключающий контакт до 1 А при 30 В постоянного тока; конкретная коммутационная схема определяется исполнением.

Технические источники CBVAC: Каталог реле давления — PDF, с. 2 · Каталог реле давления — PDF, с. 4 · Каталог реле давления — PDF, с. 5 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 30.

Реле давления APS PS и VS · Вакуумное реле абсолютного давления APS36 · Вакуумное реле абсолютного давления APS48 · Вакуумное реле давления VS160 · Реле давления CBVAC DA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC DC1 · Реле давления CBVAC SA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC SC1 · Реле давления PS150