Вакуумметры и датчики вакуума — Страница 4
Диапазон и принцип измерения выбирают по задаче. Тепловые и ионизационные датчики зависят от состава газа; при сравнении показаний учитывают калибровку и поправки изготовителя. Датчик, контроллер, кабель и интерфейс проверяют как комплект.
Что указать при подборе
- Нижняя и верхняя границы давления
- Состав газа и принцип измерения
- Требуемая точность и время отклика
- Фланец, контроллер и выходной сигнал
Написать по email · Выбрать инженерную задачу
Измерение давления в реальной вакуумной системе
Положение датчика и проводимость его присоединения влияют на то, насколько измеренное давление соответствует давлению в рабочем объёме. Тип преобразователя выбирают по диапазону давления, газовой среде и требованиям к метрологическому обеспечению.
Связанные материалы: Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP · Вакуумметрический течеискатель Ликлаб ВакуумТест · Калибровка и поверка вакуумметров
Оборудование CBVAC: технический выбор
Выберите серию, чтобы открыть сравнение моделей, графики и требования к эксплуатации.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение
Мембранно-ёмкостной вакуумметр измеряет прогиб чувствительной мембраны и преобразует его в сигнал давления. Полная шкала — верхний предел выбранного исполнения, а не нижняя граница измерения. Например, исполнение 0,02 Торр имеет полную шкалу около 2,666 Па; это не обещание измерять только от 0,02 Торр и выше.
| Серия | Основное отличие | Сигнал / связь |
|---|---|---|
| CM1 | Без нагрева, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| CM1E / DM1E | Исполнения для процессов травления | 0–10 В |
| DM1 | 45 или 100 °C, разъём DB9 | 0–10 В |
| HM1 | Два независимых релейных порога | 0–10 В и реле |
| FM1 | Цифровое подключение EtherCAT | EtherCAT и 0–10 В |
| EM1 | Компактный, без нагрева | 0–5 или 0–10 В |
| KM1 | Компактный, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| MM1 | Высокотемпературное исполнение | 0–10 В; реле по комплектации |
Пересчёт: 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для линейного выхода 0–10 В давление p = U / 10 × Pполн, где U — измеренное напряжение в вольтах, Pполн — полная шкала в выбранных единицах. Например, для шкалы 10 Торр и сигнала 2,5 В давление равно 2,5 Торр, или примерно 333,31 Па. Напряжение питания нельзя подставлять вместо выходного сигнала.
Точность в процентах от показания и разрешение в процентах полной шкалы описывают разные свойства. Температуру нагревателя датчика также отличают от допустимой температуры окружающей среды. Нагреваемый прибор устанавливают, выдерживают требуемое время прогрева и корректируют нуль по руководству. Для CM1 и DM1 время прогрева нагреваемого исполнения составляет 2 ч при полной шкале ≥ 1 Торр и 4 ч при меньшей шкале.
Выбор материала чувствительной мембраны не гарантирует совместимость со всеми технологическими газами. Для конденсирующихся сред проверяют температуру датчика и линии, монтажную ориентацию и защиту от частиц. Метрологические работы описаны на странице калибровки и поверки вакуумметров; применимость конкретной процедуры зависит от статуса и исполнения прибора.
Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 1 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 8 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 24 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 27.
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 · Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления · Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT · Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами · Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1 · Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Реле вакуума и давления: выбор уставки
Реле давления формирует дискретный сигнал при достижении порога. Оно решает задачу переключения или блокировки и не заменяет непрерывное измерение давления вакуумметром. В заказе фиксируют направление изменения давления, уставку, возврат, состояние контакта, присоединение и температурную зону.
| Серия | Диапазон задания | Особенность |
|---|---|---|
| APS48 | 20–150 Торр ≈ 2,67–20,00 кПа | Абсолютное давление |
| APS36 | 100–1000 Торр ≈ 13,33–133,32 кПа | Абсолютное давление |
| VS160 | 40–750 Торр по таблице заказа | Порог и возврат зависят от исполнения |
| PS150 | 6,9–206,8 кПа избыточного давления | Исходный диапазон 1–30 фунтов/кв. дюйм изб. |
| DC1 / DA1 / SC1 / SA1 | 5–100 % выбранной полной шкалы | Мембранно-ёмкостное реле, переключающий контакт |
В буклете VS160 есть расхождение: общая таблица на странице 4 указывает 40–635 Торр, таблица заказа на странице 5 — 40–750 Торр, а отдельное исполнение имеет порог 705–765 Торр. Поэтому рабочие пороги следует брать из строки полного кода исполнения, а не из общего названия VS160.
| Исполнение VS160 | Срабатывание, Торр | Возврат, Торр |
|---|---|---|
| VS160-DT75-A-VC-NOSC | 40–45 | 100–192 |
| VS160-IT735-A-VC-NOSC | 705–765 | 618–710 |
Для PS150 избыточное давление отсчитывают от атмосферного. Его нельзя непосредственно сравнивать с абсолютной шкалой APS. Для мембранно-ёмкостных реле DC1/DA1/SC1/SA1 предусмотрены полные шкалы 10, 30, 100, 500 и 1000 Торр, питание 10–30 В постоянного тока и переключающий контакт до 1 А при 30 В постоянного тока; конкретная коммутационная схема определяется исполнением.
Технические источники CBVAC: Каталог реле давления — PDF, с. 2 · Каталог реле давления — PDF, с. 4 · Каталог реле давления — PDF, с. 5 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 30.
Реле давления APS PS и VS · Вакуумное реле абсолютного давления APS36 · Вакуумное реле абсолютного давления APS48 · Вакуумное реле давления VS160 · Реле давления CBVAC DA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC DC1 · Реле давления CBVAC SA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC SC1 · Реле давления PS150
Найдено: 86 · Страница 4 из 4
Вакуумметр Пирани INFICON PSG500 NW-KF16 — 350-060
Вакуумметр Пирани INFICON PSG500 NW-KF16 — 350-060. Совместимое оборудование: PSG500.
Группа: Вакуумметры и измерительные системы
Марка совместимого оборудования: INFICON
Парт-номер: 350-060
KYKY KYF-181
KYKY KYF-181 — широкодиапазонный вакуумный преобразователь, объединяющий датчик Пирани и ионизационный датчик с холодным катодом. Прибор предназначен для мониторинга давления от атмосферного до высокого вакуума.
Принцип измерения: Пирани и ионизация с холодным катодом
Диапазон измерения: 5×10⁻⁶–10⁵ Па
Заявленная погрешность: ±50% от показания
KYKY KYM-240
KYKY KYM-240 — мембранно-ёмкостный преобразователь абсолютного давления. Упругая измерительная мембрана преобразует воздействие давления в изменение ёмкости; диапазон выбирают по обозначению исполнения.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, абсолютное давление
Диапазон исполнения 10T: 0,0133–133 Па
Диапазон исполнения 11T: 0,133–1330 Па
KYKY KYM-240-11T
KYKY KYM-240-11T — мембранно-ёмкостный преобразователь абсолютного давления. Упругая измерительная мембрана преобразует воздействие давления в изменение ёмкости; диапазон выбирают по обозначению исполнения. Для 11T он составляет 0,133–1330 Па.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, абсолютное давление
Диапазон измерения: 0,133–1330 Па
Питание: 14–30 В DC; пульсации Vpp ≤ 0,5 В
KYKY KYM-240-13T
KYKY KYM-240-13T — мембранно-ёмкостный преобразователь абсолютного давления. Упругая измерительная мембрана преобразует воздействие давления в изменение ёмкости; диапазон выбирают по обозначению исполнения. Для 13T он составляет 13,3–133 000 Па.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, абсолютное давление
Диапазон измерения: 13,3–133 000 Па
Питание: 14–30 В DC; пульсации Vpp ≤ 0,5 В
KYKY KYP-101
KYKY KYP-101 — компактный преобразователь Пирани для измерения давления в форвакуумных линиях и вакуумных установках. Датчик использует температурную компенсацию; измерительный узел допускает замену.
Принцип измерения: Пирани
Полный диапазон измерения: 10⁻²–10⁵ Па
Эффективный диапазон: 0,5–3000 Па
Вакуумный преобразователь Пирани KYKY KYP-200
KYKY KYP-200 — компактный преобразователь вакуумного давления на основе MEMS-датчика Пирани. Предназначен для контроля откачки от атмосферного давления до 10⁻² Па; имеет аналоговый выход и RS485.
Принцип измерения: MEMS Пирани, встроенное измерение температуры
Диапазон измерения: 10⁻²–10⁵ Па
Заявленная погрешность при 10⁴–10⁵ Па: ± 10 %
Комбинированный вакуумметр KYKY KYF-181SL с дисплеем
KYKY KYF-181SL — комбинированный преобразователь Пирани и холоднокатодной ионизации. Исполнение SL имеет встроенный дисплей и RS485; заявленный диапазон измерения составляет 5 × 10⁻⁴–10⁵ Па.
Принцип измерения: Пирани и ионизация с холодным катодом
Исполнение: SL: встроенный дисплей и RS485
Диапазон измерения: 5 × 10⁻⁴–10⁵ Па
Комбинированный вакуумный преобразователь KYKY KYF-580
KYKY KYF-580 объединяет Пирани и ионизационный измерительный узел с двумя горячими катодами. Изготовитель описывает автоматическое включение и отключение ионизационного узла и измерение от атмосферного давления до 5 × 10⁻⁸ Па.
Принцип измерения: Пирани и ионизация с двумя горячими катодами
Диапазон измерения: 5 × 10⁻⁸–10⁵ Па
Заявленная погрешность: ± 15 % на участке 10⁻⁶–1 Па
Мембранно-ёмкостный вакуумметр KYKY KYM-500J — 100 Torr
KYKY KYM-500J в исполнении 100 Torr — преобразователь абсолютного давления с металлической мембраной и ёмкостным измерительным элементом. В каталоге изготовителя для этого исполнения указан диапазон 1,33–13 300 Па.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, металлическая мембрана
Исполнение по полной шкале: 100 Torr
Диапазон измерения по каталогу: 1,33–13 300 Па
Мембранно-ёмкостный вакуумметр KYKY KYM-500J — 1000 Torr
KYKY KYM-500J в исполнении 1000 Torr — преобразователь абсолютного давления с металлической мембраной и ёмкостным измерительным элементом. В каталоге изготовителя для этого исполнения указан диапазон 13,3–133 000 Па.
Принцип измерения: Мембранно-ёмкостный, металлическая мембрана
Исполнение по полной шкале: 1000 Torr
Диапазон измерения по каталогу: 13,3–133 000 Па
Вакуумметр Instrue PVC410 — Пирани и холодный катод, RJ45
Instrue PVC410 — комбинированный вакуумметр Пирани/Пеннинга для диапазона 10⁻⁵–10⁵ Па по воздуху и азоту. Стандартный фланец KF25; компактный преобразователь с RJ45.
Принцип измерения: Пирани + холодный катод Пеннинга
Диапазон измерения, воздух и азот: 10⁻⁵…10⁵ Па
Точность по EN V1: 10⁻⁵…10⁻⁴ Па: ±35 %
Вакуумметр Instrue WPC400 — Пирани и холодный катод, LED-дисплей
Instrue WPC400 — комбинированный вакуумметр Пирани/Пеннинга для диапазона 10⁻⁵–10⁵ Па по воздуху и азоту. Стандартный фланец KF25; локальная LED-индикация и два пороговых выхода.
Принцип измерения: Пирани + холодный катод Пеннинга
Диапазон измерения, воздух и азот: 10⁻⁵…10⁵ Па
Точность по EN V1: 10⁻⁵…10⁻⁴ Па: ±35 %
Вакуумметр Instrue WPH300 — Пирани и горячий катод
Instrue WPH300 объединяет датчики Пирани и горячего катода для измерения 10⁻⁵–10⁵ Па по воздуху и азоту. Стандартное присоединение KF25; выходы и уставки выбираются по полному коду исполнения.
Принцип измерения: Пирани + ионизационный канал с горячим катодом
Базовый код по CN V4: WPH300 A11: KF25, аналоговый выход, без уставок
Выбор интерфейса по заказному коду: 0–10 В; 4–20 мА; RS485; либо RS485 с одним из аналоговых выходов