Вакуумметры и датчики вакуума — Страница 3
Диапазон и принцип измерения выбирают по задаче. Тепловые и ионизационные датчики зависят от состава газа; при сравнении показаний учитывают калибровку и поправки изготовителя. Датчик, контроллер, кабель и интерфейс проверяют как комплект.
Что указать при подборе
- Нижняя и верхняя границы давления
- Состав газа и принцип измерения
- Требуемая точность и время отклика
- Фланец, контроллер и выходной сигнал
Написать по email · Выбрать инженерную задачу
Измерение давления в реальной вакуумной системе
Положение датчика и проводимость его присоединения влияют на то, насколько измеренное давление соответствует давлению в рабочем объёме. Тип преобразователя выбирают по диапазону давления, газовой среде и требованиям к метрологическому обеспечению.
Связанные материалы: Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP · Вакуумметрический течеискатель Ликлаб ВакуумТест · Калибровка и поверка вакуумметров
Оборудование CBVAC: технический выбор
Выберите серию, чтобы открыть сравнение моделей, графики и требования к эксплуатации.
Мембранно-ёмкостные вакуумметры: шкалы и исполнение
Мембранно-ёмкостной вакуумметр измеряет прогиб чувствительной мембраны и преобразует его в сигнал давления. Полная шкала — верхний предел выбранного исполнения, а не нижняя граница измерения. Например, исполнение 0,02 Торр имеет полную шкалу около 2,666 Па; это не обещание измерять только от 0,02 Торр и выше.
| Серия | Основное отличие | Сигнал / связь |
|---|---|---|
| CM1 | Без нагрева, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| CM1E / DM1E | Исполнения для процессов травления | 0–10 В |
| DM1 | 45 или 100 °C, разъём DB9 | 0–10 В |
| HM1 | Два независимых релейных порога | 0–10 В и реле |
| FM1 | Цифровое подключение EtherCAT | EtherCAT и 0–10 В |
| EM1 | Компактный, без нагрева | 0–5 или 0–10 В |
| KM1 | Компактный, 45 или 100 °C | 0–10 В |
| MM1 | Высокотемпературное исполнение | 0–10 В; реле по комплектации |
Пересчёт: 1 Торр ≈ 133,322 Па. Для линейного выхода 0–10 В давление p = U / 10 × Pполн, где U — измеренное напряжение в вольтах, Pполн — полная шкала в выбранных единицах. Например, для шкалы 10 Торр и сигнала 2,5 В давление равно 2,5 Торр, или примерно 333,31 Па. Напряжение питания нельзя подставлять вместо выходного сигнала.
Точность в процентах от показания и разрешение в процентах полной шкалы описывают разные свойства. Температуру нагревателя датчика также отличают от допустимой температуры окружающей среды. Нагреваемый прибор устанавливают, выдерживают требуемое время прогрева и корректируют нуль по руководству. Для CM1 и DM1 время прогрева нагреваемого исполнения составляет 2 ч при полной шкале ≥ 1 Торр и 4 ч при меньшей шкале.
Выбор материала чувствительной мембраны не гарантирует совместимость со всеми технологическими газами. Для конденсирующихся сред проверяют температуру датчика и линии, монтажную ориентацию и защиту от частиц. Метрологические работы описаны на странице калибровки и поверки вакуумметров; применимость конкретной процедуры зависит от статуса и исполнения прибора.
Технические источники CBVAC: Каталог вакуумметров — PDF, с. 1 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 8 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 24 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 27.
Высокотемпературный емкостный мембранный вакуумметр MM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1 · Вакуумметр CBVAC CM111AVASL — 10 Торр, 45 °C · Ёмкостной вакуумметр CBVAC CM1E для процессов травления · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1 · Ёмкостной вакуумметр CBVAC DM1E для процессов травления · Емкостный мембранный вакуумметр FM1 с EtherCAT · Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами · Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1 · Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Реле вакуума и давления: выбор уставки
Реле давления формирует дискретный сигнал при достижении порога. Оно решает задачу переключения или блокировки и не заменяет непрерывное измерение давления вакуумметром. В заказе фиксируют направление изменения давления, уставку, возврат, состояние контакта, присоединение и температурную зону.
| Серия | Диапазон задания | Особенность |
|---|---|---|
| APS48 | 20–150 Торр ≈ 2,67–20,00 кПа | Абсолютное давление |
| APS36 | 100–1000 Торр ≈ 13,33–133,32 кПа | Абсолютное давление |
| VS160 | 40–750 Торр по таблице заказа | Порог и возврат зависят от исполнения |
| PS150 | 6,9–206,8 кПа избыточного давления | Исходный диапазон 1–30 фунтов/кв. дюйм изб. |
| DC1 / DA1 / SC1 / SA1 | 5–100 % выбранной полной шкалы | Мембранно-ёмкостное реле, переключающий контакт |
В буклете VS160 есть расхождение: общая таблица на странице 4 указывает 40–635 Торр, таблица заказа на странице 5 — 40–750 Торр, а отдельное исполнение имеет порог 705–765 Торр. Поэтому рабочие пороги следует брать из строки полного кода исполнения, а не из общего названия VS160.
| Исполнение VS160 | Срабатывание, Торр | Возврат, Торр |
|---|---|---|
| VS160-DT75-A-VC-NOSC | 40–45 | 100–192 |
| VS160-IT735-A-VC-NOSC | 705–765 | 618–710 |
Для PS150 избыточное давление отсчитывают от атмосферного. Его нельзя непосредственно сравнивать с абсолютной шкалой APS. Для мембранно-ёмкостных реле DC1/DA1/SC1/SA1 предусмотрены полные шкалы 10, 30, 100, 500 и 1000 Торр, питание 10–30 В постоянного тока и переключающий контакт до 1 А при 30 В постоянного тока; конкретная коммутационная схема определяется исполнением.
Технические источники CBVAC: Каталог реле давления — PDF, с. 2 · Каталог реле давления — PDF, с. 4 · Каталог реле давления — PDF, с. 5 · Каталог вакуумметров — PDF, с. 30.
Реле давления APS PS и VS · Вакуумное реле абсолютного давления APS36 · Вакуумное реле абсолютного давления APS48 · Вакуумное реле давления VS160 · Реле давления CBVAC DA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC DC1 · Реле давления CBVAC SA1 — абсолютное давление · Реле давления CBVAC SC1 · Реле давления PS150
Найдено: 86 · Страница 3 из 4
Емкостный мембранный вакуумметр HM1 с релейными выходами
Диапазоны полной шкалы: 0,1; 1; 10; 20; 50; 100; 500 или 1000 Торр
Температурное исполнение: Без нагрева, 45 °C или 100 °C
Точность: До 0,12 % от показания при 45 °C
Ионизационный вакуумметр KYKY ZDR-121-A1
KYKY ZDR-121-A1 — электронный вакуумметр для датчика ZJ-12: 10⁻¹–6×10⁻⁸ Па, RS-232 или RS-485, внешний вход PLC. Фото, параметры и условия применения.
Модель электронного блока: ZDR-121-A1
Принцип измерения: Ионизационный, с нагреваемым катодом
Измерительные каналы: 1
Ионизационный датчик вакуума ПМИ-2
ПМИ-2 — ионизационный датчик в стеклянном корпусе для измерения высокого вакуума с Мерадат-ВИТ19ИТ2. Диапазон комплекта: 1,3 × 10⁻⁵–1,3 × 10⁻¹ Па.
Тип преобразователя: Ионизационный
Корпус: Стеклянный
Присоединение: Грибковое (штуцерное), диаметр 15 мм
Комбинированный вакуумметр KYKY ZDF-11A2
KYKY ZDF-11A2 — вакуумметр с датчиками ZJ-52T и ZJ-27, четырьмя релейными выходами и Modbus. Фото, диапазоны измерения и управления, характеристики.
Модель электронного блока: ZDF-11A2
Тип: Комбинированный: терморезистивный и ионизационный каналы
Измерительные каналы: 2: один терморезистивный и один ионизационный
Комбинированный вакуумметр KYKY ZDF-91B2
KYKY ZDF-91B2 — вакуумметр с двумя датчиками ZJ-52T и одним ZJ-27, шестью релейными выходами и Modbus. Фото, диапазоны измерения и управления, характеристики.
Модель электронного блока: ZDF-91B2
Тип: Комбинированный: терморезистивный и ионизационный каналы
Измерительные каналы: 3: два терморезистивных и один ионизационный
Компактный емкостный мембранный вакуумметр EM1
Диапазоны полной шкалы: 1; 2; 10; 20; 30; 50; 100; 250; 500 или 1000 Торр
Точность: 0,5 % от показания
Выходной сигнал: 0-5 или 0-10 В пост. тока, нагрузка > 10 кОм
Контроллер Instrue WGC150 — до четырёх вакуумметров, TFT-дисплей
Instrue WGC150 — панельный контроллер для отображения показаний до четырёх вакуумметров. Цветной TFT 3,5 дюйма; до четырёх уставок и двух аналоговых выходов в соответствующей комплектации.
Число измерительных каналов: До четырёх вакуумметров
Дисплей: Цветной TFT LCD, 3,5 дюйма, 320 × 240 пикселей; до четырёх строк показаний
Органы управления: Четыре мембранные кнопки
Нагреваемый емкостный мембранный вакуумметр KM1
Диапазоны полной шкалы: 1; 2; 10; 30; 50; 100; 200; 500 или 1000 Торр
Температурное исполнение: 45 °C или 100 °C
Точность: 0,5 % от показания; при 100 °C и диапазоне < 10 Торр - 1 %
Преобразователь Instrue PON100 — датчик Пирани, KF16
Instrue PON100 — компактный преобразователь Пирани без дисплея, с присоединением KF16. По CN V2 диапазон составляет 0,1–100 000 Па; предусмотрены аналоговый сигнал и RS485.
Принцип измерения: Пирани
Диапазон по CN V2, воздух и азот: 0,1…100 000 Па
Точность: 0,1…10 000 Па: ±15 %
Реле давления CBVAC DA1 — абсолютное давление
CBVAC DA1 — ёмкостное реле абсолютного давления с одним присоединением и выходом SPDT. Полная шкала, порог и питание выбираются по заказному коду.
Тип оборудования: Ёмкостное мембранное реле давления
Варианты полной шкалы: 10; 30; 100; 500; 1000 Торр
Диапазон задания порога: 5–100 % полной шкалы
Реле давления CBVAC DC1
CBVAC DC1 — ёмкостное реле давления с одним присоединением и выходом SPDT. Полная шкала, порог и питание выбираются по заказному коду.
Тип оборудования: Ёмкостное мембранное реле давления
Варианты полной шкалы: 10; 30; 100; 500; 1000 Торр
Диапазон задания порога: 5–100 % полной шкалы
Реле давления CBVAC SA1 — абсолютное давление
CBVAC SA1 — ёмкостное реле абсолютного давления с двумя присоединениями и выходом SPDT. Полная шкала, порог и питание выбираются по заказному коду.
Тип оборудования: Ёмкостное мембранное реле давления
Варианты полной шкалы: 10; 30; 100; 500; 1000 Торр
Диапазон задания порога: 5–100 % полной шкалы
Реле давления CBVAC SC1
CBVAC SC1 — ёмкостное реле давления с двумя присоединениями и выходом SPDT. Полная шкала, порог и питание выбираются по заказному коду.
Тип оборудования: Ёмкостное мембранное реле давления
Варианты полной шкалы: 10; 30; 100; 500; 1000 Торр
Диапазон задания порога: 5–100 % полной шкалы
Реле давления PS150
Диапазон уставок: 6,9…206,8 кПа изб. (1…30 psig)
Единица задания давления: кПа изб.; исходная единица — psig
Присоединение: 1/4″ VCR
Тепловой датчик вакуума ПМТ-2
ПМТ-2 — тепловой датчик для вакуумметров Мерадат-ВИТ. Стеклянный корпус и штуцерное присоединение диаметром 15 мм.
Принцип измерения: Тепловой первичный преобразователь
Корпус: Стеклянный
Присоединение: Грибковое (штуцерное), диаметр 15 мм
Тепловой датчик вакуума СК-ТП4
СК-ТП4 — тепловой датчик для вакуумметров Мерадат-ВИТ. Металлический корпус и зажимное присоединение KF16/KF10.
Принцип измерения: Тепловой первичный преобразователь
Корпус: Металлический
Присоединение: Зажимное KF16/KF10, по странице поставщика
Вакуумметрия и компоненты Reborn
Измерительные головки, приборы и сервисная номенклатура для восстановления измерительного канала.
ZDF: Комбинированные вакуумметры и измерительные блоки; варианты 5210, 5214, 5227 с суффиксами.
ZDL ZDM ZDR ZDY ZDZ: Приборы и преобразователи разных принципов: диапазон и выход по модели.
ZJ: Лампы и преобразователи ZJ-10B, 12, 14/14C, 27, 51, 52T, 53B/54D.
Вакуумметры ASAIR серии AGP и ADP
Выбор принципа и полной шкалы определяет пригодность датчика для конкретной области давления.
Вакуумметры INSTRUE WPC400, WPI200, PON100, CMG500, PNP101
Приборы с локальной индикацией, компактные преобразователи и панельные контроллеры.
PON100 WPI200: Тепловое измерение Пирани; WPI200 имеет местную индикацию.
PNP101: Комбинация MEMS и Пирани для расширенного охвата давления.
WPH300 WPC400 PVC410: Комбинированные измерители с горячим или холодным катодом по модели.
Вакуумметры Ulvac
Контроль общего давления и состава остаточной среды в вакуумной камере.
SW100-A SW100-R: Трансмиттеры; диапазон по каталогу 5 × 10⁻²–1 × 10⁵ Па.
GP-G: Пирани-вакуумметры для контроля форвакуумной области.
SWU10-U: Пирани-вакуумметр с непосредственным USB-подключением к совместимому устройству.
Вакуумметры Мерадат ВИТ16 и ВИТ19
Вакуумметры Мерадат ВИТ16 и ВИТ19: тепловые и широкодиапазонные вакуумметры Линейка вакуумметров Мерадат ВИТ занимает устойчивое место на российском рынке из...
Мембранно-ёмкостные вакуумметры CBVAC
Измерение абсолютного давления деформацией мембраны для регулирования вакуумных процессов.
Полная шкала без нагрева: 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 500; 1000 Торр
Полная шкала при 45 °C: 0,02; 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000 Торр
Полная шкала при 100 °C: 0,05; 0,1; 0,25; 1; 2; 10; 20; 100; 1000 Торр
Реле давления APS PS и VS
Дискретный сигнал достижения заданного давления для блокировок вакуумных и газовых систем.
Вакуумметр Leybold IONIVAC ITR90 DN25 ISO-KF — 12090
Вакуумметр Leybold IONIVAC ITR90 DN25 ISO-KF — 12090. Совместимое оборудование: ITR90.
Группа: Вакуумметры и измерительные системы
Марка совместимого оборудования: Leybold
Парт-номер: 12090