Вакуумные насосы

Ротор турбомолекулярного насоса передаёт импульс молекулам газа и перемещает их к форвакуумному выпуску. Магнитный подвес MTP удерживает ротор без рабочего контакта с опорами. Насос предназначен для высоковакуумной ступени: он не заменяет насос предварительной откачки от атмосферы.

Для MTP-2201 значения 2200 и 1700 л/с относятся к ISO250F. Для ISO200F быстрота в таблице руководства не указана. У MTP-4301 выбор ISO320F или ISO400F изменяет паспортную быстроту по азоту с 4000 до 4300 л/с. Название модели само по себе не задаёт быстроту для любого фланца.

Форвакуум, охлаждение и газовая нагрузка

Компактный SSH20 с пиковой быстротой 21,6 м³/ч не выполняет требование MTP по форвакуумной быстроте. Для системы рассчитывают проводимость трубопровода и проверяют рабочую характеристику форвакуумного насоса при требуемом давлении, а не только его максимальную производительность.

Условия этого сравнения: азот, вода 15–25 °C, форвакуумный насос > 1300 л/мин, продувка азотом 50 ± 10 стандартных см³/мин. При другом газе, температуре воды или форвакуумной ступени используют соответствующую строку руководства. TMS поддерживает температуру насоса для технологического процесса; предельный прогрев корпуса < 120 °C не является уставкой TMS.

Обозначение CTMS и выбор исполнения

В обозначениях буклета C указывает на исполнение для коррозионных процессов, T — термостатирование TMS, M — Modbus, S — продувочный порт KF10. Совместимость с конкретным газом проверяют по исполнению насоса и условиям процесса. Наличие букв в общем названии серии не заменяет проверку полного заказного кода.

В буклете и руководстве различаются коэффициенты сжатия водорода. Кроме того, нижняя кривая буклета подписана He, а соответствующая строка таблицы руководства — H₂. Поэтому приведённый здесь график построен именно по таблице руководства, а неоднозначные коэффициенты не используются для расчёта системы.

Технические источники CBVAC: Руководство MTP — PDF, с. 13 · Руководство MTP — PDF, с. 14 · Буклет MTP — PDF, с. 2 · Буклет MTP — PDF, с. 4.

Магнитолевитационный насос CBVAC MTP-2201 CTMS · CBVAC MTP-3201 CTMS · Магнитолевитационный насос CBVAC MTP-4301 CTMS · Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-1601 · Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-2201 · Магнитолевитационный турбомолекулярный насос MTP-4301

Серия JFB включает разные исполнения турбомолекулярных насосов. Номинальная быстрота зависит от газа, а допустимое форвакуумное давление — от конструкции ступеней. Модели с близкой быстротой не всегда взаимозаменяемы по выпускному давлению, контроллеру и монтажу.

У JFB-63/81M и JFB-63/81MJ руководство указывает комбинированные магнитные и керамические опоры. Это отдельная конструкция, которую нельзя отождествлять с серией MTP. JFB-63/81MJ имеет три порта дифференциальной откачки: A, B и C; для каждого приведена собственная быстрота.

При выборе учитывают тип входного уплотнения LF/CF, откачиваемый газ и максимальное непрерывное выпускное давление. Критическое выпускное давление не является рекомендуемой рабочей уставкой. Для JFB-400/4201 требуется вертикальный монтаж ±5°, хотя многие меньшие модели допускают произвольную ориентацию.

Технические источники CBVAC: Руководство JFB — PDF, с. 10 · Руководство JFB — PDF, с. 12 · Руководство JFB — PDF, с. 14 · Руководство JFB — PDF, с. 15 · Руководство JFB — PDF, с. 16.

CBVAC JFB-100/251 · CBVAC JFB-100/301 · CBVAC JFB-160/401 · Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-160/450D · Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-160/700 · CBVAC JFB-160/701 · Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-200/1400 · CBVAC JFB-200/1401 · Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-250/2200 · CBVAC JFB-250/2201 · CBVAC JFB-400/4201 · CBVAC JFB-63/81 · CBVAC JFB-63/81M · CBVAC JFB-63/81MJ

JZB — сухие высоковакуумные насосы с выпуском в область атмосферного давления. Их нельзя выбирать как обычную форвакуумную ступень только по названию «сухой»: руководство ограничивает давление на выпуске снизу и сверху. Установка дополнительной откачки на выпуск без проверки этих ограничений меняет штатные условия работы.

Для обеих моделей: выпускное давление > 50 кПа и < 120 кПа; вертикальный монтаж ±5°; вода 15–35 °C, 0,2–0,7 МПа, расход > 2 л/мин; рабочая температура 5–40 °C. Пиковая быстрота не сохраняется во всём диапазоне давлений: исходные кривые S(p) приведены на странице 8 руководства.

Технические источники CBVAC: Руководство JZB — PDF, с. 7 · Руководство JZB — PDF, с. 8.

Высоковакуумный сухой насос JZB-160/500 · Высоковакуумный сухой насос JZB-63/180

SSH20 использует двухвинтовую откачку с сухим газовым трактом. Это не означает отсутствия масла во всех узлах: руководство предусматривает масло в редукторе. Для стандартного исполнения нельзя автоматически заявлять пригодность к токсичным, горючим, взрывоопасным или коррозионным средам; специальные процессы требуют согласованной комплектации.

В буклете встречается пиковое значение 6,3 л/с, тогда как руководство указывает 6 л/с. Потребление при предельном давлении также различается: 550 Вт в буклете и 510 Вт в руководстве. Для расчёта электропитания используют номинальные данные и паспорт поставляемого исполнения; эти расхождения не следует объяснять как различие номинальной и пиковой быстроты.

Для использования с турбомолекулярным насосом проверяют требуемую форвакуумную быстроту и выпускное давление выбранной модели. SSH20 не удовлетворяет указанному в руководстве MTP требованию > 78 м³/ч. Для предварительной откачки камеры также учитывают её объём, проводимость линии, газовыделение и допустимое время цикла.

Технические источники CBVAC: Руководство SSH20 — PDF, с. 7 · Руководство SSH20 — PDF, с. 10 · Руководство SSH20 — PDF, с. 11 · Буклет SSH20 — PDF, с. 4 · Буклет SSH20 — PDF, с. 5.

Вакуумные безмасляные насосы CBVAC SSH20