Технический каталог оборудования
Течеискатели, вакуумная техника и средства измерений.
Разделы каталога
Найдено: 18 · Страница 1 из 1
Квадрупольный анализатор остаточных газов ULVAC Qulee CGM2-101
ULVAC Qulee CGM2-101 — квадрупольный анализатор остаточных газов с диапазоном масс 1–100 а.е.м., коллектором Фарадея и подключением Ethernet. Его применяют для контроля газовой среды вакуумных установок распыления и напыления, остаточной влаги, загрязнений и признаков натекания воздуха.
Диапазон масс: 1–100 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Разрешение: M/ΔM = 1M, при 10% высоты пика (обозначение ULVAC)
ULVAC Qulee BGM-101/102/201/202 — анализаторы остаточных газов
ULVAC Qulee BGM исходного поколения — квадрупольные анализаторы для вакуумных печей, установок напыления и исследования остаточных газов. Модели различаются диапазоном масс и наличием электронного умножителя.
Диапазон масс BGM-101/102: 1–100 а.е.м.
Диапазон масс BGM-201/202: 1–200 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
ULVAC Qulee QCS — ПО для анализа газов и контроля измерений
Qulee QCS — программное обеспечение ULVAC для управления анализаторами остаточных газов, сохранения спектров, трендов и результатов контроля герметичности. Ниже отдельно указаны возможности QCS 4.2 и ограничения применимости к прежним поколениям приборов.
Версия основной таблицы: Qulee QCS 4.2
Операционные системы по ULVAC: Windows 8 / 10 / 11
Интерфейс приборов поколения 2: Ethernet
ULVAC Qulee с YTP-50M — система анализа газов
Система ULVAC Qulee с YTP-50M объединяет квадрупольный анализатор, газовый ввод и дифференциальную откачку. Исходная конфигурация служит для анализа технологического газа и остаточной атмосферы при выбранном давлении отбора пробы.
Совместимые анализаторы исходного комплекта: BGM-101/102/201/202 либо HGM-302
Диапазоны масс: 1–100 а.е.м. для BGM-101/102; 1–200 для BGM-201/202; 1–300 для HGM-302
Максимальное давление отбора пробы: Отдельные исполнения: атмосфера, 500, 100, 10 либо 1 Па
Безмасляная система для анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302
ULVAC Qulee RGM-202 и RGM-302 — системы анализа технологического газа с квадрупольным масс-фильтром, закрытым источником ионов и дифференциальной откачкой. Они предназначены для наблюдения за газовыми процессами, включая травление и химическое осаждение из газовой фазы.
Диапазон масс RGM-202: 1–200 а.е.м.
Диапазон масс RGM-302: 1–300 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM
ULVAC Qulee HGM-202 и HGM-302 — квадрупольные анализаторы для исследований остаточных газов и контроля газовой среды в высоком вакууме. Обе модели используют коллектор Фарадея и вторично-электронный умножитель; диапазон масс и чувствительность FC зависят от исполнения.
Диапазон масс HGM-202: 1–200 а.е.м.
Диапазон масс HGM-302: 1–300 а.е.м.
Масс-фильтр: Квадрупольный
Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM
ULVAC Qulee CGM-051 и CGM-052 — квадрупольные анализаторы остаточных газов с диапазоном масс 1–50 а.е.м. Они применяются для контроля состава газовой среды при распылении, остаточной влаги и признаков натекания воздуха в вакуумную установку.
Диапазон масс: 1–50 а.е.м., обе модели
Масс-фильтр: Квадрупольный
Детектор CGM-051: Коллектор Фарадея (FC)
HM-Leaklab-100 — Анализатор остаточных газов RGA
Квадрупольный измерительный модуль для качественного и количественного анализа остаточных газов в вакуумном объёме. Определяет компоненты по отношению массы иона к заряду; среди рассматриваемых газов — вода, кислород, азот и диоксид углерода. Для работы необходимы система отбора пробы, вакуумное обеспечение и программное обеспечение анализа. Это измерительный модуль RGA, а не самостоятельный гелиевый течеискатель.
Полная длина: 486 мм
Разрешение по массе при 10 % высоты пика: <1 а.е.м.
Детектор: FC/CEM
HM-Leaklab-130 — Высокочувствительный анализатор остаточных газов
Анализатор остаточных газов для полупроводниковых процессов и вакуумного нанесения покрытий. Предназначен для контроля следовых примесей и динамики газового состава. Заявлены минимальное парциальное давление 2·10⁻¹⁵ Торр, скорость сканирования 2 мс на точку и диапазон масс до 300 а.е.м. Конкретное исполнение и условия достижения характеристик уточняют при подборе.
Наименование: Высокопроизводительный анализатор остаточных газов
Габариты Д × Ш × В: 450 × 120 × 120 мм
Электропитание и мощность: 220 В переменного тока, 50 Гц; 120 Вт
HM-Leaklab-150 — Анализатор остаточных газов для повышенного давления
Анализатор для мониторинга процессов PVD и условий с повышенным давлением газа. Рабочее давление составляет до 2 Па, варианты диапазона масс 1–50 и 1–100 а.е.м., минимальное обнаруживаемое парциальное давление 2·10⁻⁹ Па. Поддерживаются сканирование спектра и выбранных масс, определение H₂, He, N₂, O₂ и Ar, интеграция через API и сигнализация отклонений.
Наименование: Анализатор остаточных газов для повышенного давления
Габариты Д × Ш × В: 320 × 240 × 120 мм
Электропитание: 220 В переменного тока, 50 Гц, 1 А; или 24 В постоянного тока, 5 А
HM-Leaklab-200 — Масс-спектрометр для непрерывного контроля
Масс-спектрометрическая система на основе RGA с экраном. Производитель рассматривает её для контроля утечек электролита и остаточных газов, в том числе с переключением нескольких испытательных камер. Измерительный модуль — HM-Leaklab-100. Контроль заданных компонентов электролита выполняется без гелия; газовый состав, условия отбора пробы и порог обнаружения должны соответствовать проверяемому изделию.
Наименование: Масс-спектрометр для непрерывного контроля
Габариты: L750*W300*H377
Масса: 38кг
HM-Leaklab-210 — Масс-спектрометр для встраивания в испытательный стенд
Система на основе анализа остаточных газов для контроля в составе автоматизированного стенда, включая несколько испытательных камер. Наличие экрана и его размер согласуют для заказываемого исполнения. Измерительный модуль — HM-Leaklab-100.
Наименование: Масс-спектрометр для непрерывного контроля
Габариты: L700*W300*H380
Масса: 27.5кг
HM-Leaklab-230 — Масс-спектрометрическая система для разных давлений
Комплексная система непрерывного масс-спектрометрического анализа, объединяющая RGA, вакуумную систему и модуль отбора пробы. Диапазон давления отбора — от 10⁻⁸ Торр до 1,2 атм; варианты диапазона масс — 1–100, 1–200 и 1–300 а.е.м. Предназначена для мониторинга H₂, He, N₂, O₂, Ar и других компонентов технологического газа. Предусмотрены регистрация динамики, сигнализация и защита элементов от загрязнения технологическими отложениями.
Наименование: Анализатор остаточных газов для разных давлений отбора проб
Габариты Д × Ш × В: 540 × 236 × 374 мм
Электропитание: 220 В переменного тока, 50 Гц, 5 А
HV-Leaklab-100 — Переносной детектор летучих органических соединений
Переносной прибор на основе фотоионизационного детектора PID для измерения концентрации летучих органических соединений. Компактное исполнение с насосным отбором пробы используется для оперативных измерений. В характеристиках производителя одновременно указаны питание 24 В постоянного тока и автономная работа 8 часов; источник питания и комплектность уточняют при выборе исполнения.
Погрешность датчика: ≤2% полной шкалы
Электропитание: пост. ток 24 В
Время восстановления: ≤7 с
HV-Leaklab-110 — Модуль определения летучих органических соединений
Компактный фотоионизационный детектор PID, специально предлагаемый для контроля утечек аккумуляторов в мягкой оболочке. Определяет летучие органические соединения, имеет интерфейс RS-485 и питание 24 В постоянного тока. При настройке учитывают состав электролита и отклик датчика на выбранный компонент.
Масса: 0.5кг
Габариты, мм: 145*133*38
Определяемый газ: Летучие органические соединения
HM-100 — анализатор остаточных газов (RGA)
Длина датчика: 315 мм
Общая длина: 486 мм
Разрешение при 10% высоты пика: <1 а. е. м.
Анализ остаточных газов QGA
Квадрупольный масс-спектрометр помогает понять состав газовой нагрузки и причину ухудшения вакуума.
Газовый анализ Actmass
Системы для остаточных газов, технологического мониторинга и измерения газовыделения.
RGA: Измерение парциальных давлений непосредственно в вакуумной системе.
PGA: Переносная система газового анализа для разных точек подключения.
MLS211: Онлайн-масс-спектрометр для непрерывного наблюдения за процессом.